本標(biāo)準(zhǔn)按照 GB/T 1.1-2009給出的規(guī)則起草。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出。

　　本標(biāo)準(zhǔn)的主要內(nèi)容包括：1、范圍;2、規(guī)范性引用文件;3、基本方法及原理;4、標(biāo)準(zhǔn)樣品和儀器設(shè)備;5、操作方法;6、數(shù)據(jù)處理。

1 范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了柔性薄膜基體上涂層(包含有機、無機與金屬涂層)厚度掃描電子顯微鏡測量的基本方法及原理、標(biāo)準(zhǔn)樣品和儀器設(shè)備、操作方法、數(shù)據(jù)處理的方法。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于厚度不大于3mm的柔性薄膜基體上厚度為10nm~0.5mm的涂層的厚度測量。

2 規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T 20307一2006納米級長度的掃描電子顯微鏡測量方法通則

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