X射線熒光光譜儀具有重現(xiàn)性好，測(cè)量速度快，靈敏度高的特點(diǎn)。能分析B(5)～U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對(duì)象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。無(wú)標(biāo)半定量方法可以對(duì)各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結(jié)果，結(jié)果準(zhǔn)確度對(duì)某些樣品可以接近定量水平，分析時(shí)間短。薄膜分析軟件FP-MULT1能作鍍層分析，薄膜分析。測(cè)量樣品的最大尺寸要求為直徑51mm，高40mm。
X射線熒光光譜儀的基本原理：
X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測(cè)樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來(lái)的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
用X射線照射試樣時(shí)，試樣可以被激發(fā)出各種波長(zhǎng)的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長(zhǎng)（或能量）分開(kāi)，分別測(cè)量不同波長(zhǎng)（或能量）的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。
X射線熒光光譜儀分為波長(zhǎng)色散、能量色散、非色散X熒光、全反射X熒光。
波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜采用晶體或人工擬晶體根據(jù)Bragg定律將不同能量的譜線分開(kāi)，然后進(jìn)行測(cè)量。波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜一般采用X射線管作激發(fā)源，可分為順序式(或稱單道式或掃描式)、同時(shí)式(或稱多道式)譜儀、和順序式與同時(shí)式相結(jié)合的譜儀三種類型。順序式通過(guò)掃描方法逐個(gè)測(cè)量元素，因此測(cè)量速度通常比同時(shí)式慢，適用于科研及多用途的工作。同時(shí)式則適用于相對(duì)固定組成，對(duì)測(cè)量速度要求高和批量試樣分析, 順序式與同時(shí)式相結(jié)合的譜儀結(jié)合了兩者的優(yōu)點(diǎn)。
X射線熒光分析技術(shù)（XRF）作為一種快速分析手段，為相關(guān)部門提供了一種可行的、低成本的并且及時(shí)的檢測(cè)、篩選和控制有害元素含量的有效途徑。相對(duì)于其他分析方法，XRF 具有無(wú)需對(duì)樣品進(jìn)行特別的化學(xué)處理，快速、方便、測(cè)量成本低等明顯優(yōu)勢(shì)，特別適合用于各類相關(guān)部門作為過(guò)程控制和檢測(cè)使用。
X射線熒光光譜儀的維護(hù)保養(yǎng)：
1、X射線熒光光譜儀中最昂貴的部分是高壓 X射線光管，它是儀器的核心部件。X射線光管對(duì)冷卻水的溫度、壓力、電導(dǎo)率都有嚴(yán)格的要求，其較佳冷卻水溫為 22℃～24℃，一般不能超過(guò) 30℃，超過(guò) 35℃則使用壽命會(huì)大大降低。內(nèi)部循環(huán)水用于冷卻陽(yáng)極靶附近的光管頭部分，因此要求內(nèi)部循環(huán)水為電導(dǎo)率很低的去離子水（必須保證該冷卻水的電導(dǎo)率＜2 μs／cm），以防高壓擊穿導(dǎo)致 x射線光管損壞。
2、分光晶體是具有把 X 射線熒光按波長(zhǎng)順序分開(kāi)成光譜作用的晶體。影響分光晶體穩(wěn)定性的因素有：溫度、濕度、酸堿度等。
3、探測(cè)器性能一般用波高分布曲線的半寬高來(lái)衡量，若半寬高增大則說(shuō)明分辨能力下降，檢測(cè)器品質(zhì)變壞。
4、真空系統(tǒng)是X射線熒光光譜儀的重要組成部分。對(duì)于真空泵，主要是應(yīng)該定期檢查真空泵油的油質(zhì)和油量，檢查油質(zhì)時(shí)如果有白色或黑色，就說(shuō)明油質(zhì)不正常，應(yīng)該立即更換泵油。
射線熒光光譜儀結(jié)構(gòu)復(fù)雜，部件眾多，涉及光譜、化學(xué)、機(jī)械、電控等各個(gè)方面，所以，對(duì) X 射線熒光光譜儀的維護(hù)和保養(yǎng)需要具備各方面的知識(shí)，因此需要我們?cè)诠ぷ髦胁粩鄬W(xué)習(xí)，充實(shí)知識(shí)，總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，使X射線熒光光譜儀在使用時(shí)能夠發(fā)揮出最大的效能。
X射線熒光光譜儀由激發(fā)源（X射線管）和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測(cè)樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性。
X射線熒光光譜儀的優(yōu)點(diǎn)都有那些？
1.分析速度高。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素。
2.X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測(cè)定中卻可看到有波長(zhǎng)變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長(zhǎng)變化用于化學(xué)位的測(cè)定。
3.非破壞分析。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
4.X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。
5.X射線熒光光譜儀分析精密度高。
6.制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
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