真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
　　一、渦旋式真空泵的基本特點(diǎn)
　　渦旋式真空泵由渦旋式壓縮機(jī)演變而來(lái)，機(jī)構(gòu)原理較早由法國(guó)人Cruex于1905年發(fā)明，但受限于當(dāng)時(shí)的工藝技術(shù)并未應(yīng)用于實(shí)際，直到上世紀(jì)80年代前后才應(yīng)用于真空技術(shù)領(lǐng)域。其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，零部件少；間隙小、泄漏率小，具有較高的壓縮比，在較寬壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速；并且其壓縮腔內(nèi)容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)力矩變化小，功率變化??；振動(dòng)噪聲小，無(wú)需冷卻水與潤(rùn)滑油，維護(hù)簡(jiǎn)單，可靠性高。
　　由于渦旋式真空泵自身型線的特點(diǎn)，一般情況下，渦旋式真空泵泵的抽速不超過(guò)1000L/min；抽速大于4L/s的渦旋泵一般采用雙側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，而抽速小于4L/s的則多采用單側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，極限真空在1Pa左右。
　　二、渦旋式真空泵的工作原理
　　渦旋真空泵的工作腔是由一對(duì)型線共軛的渦旋盤副嚙合安裝組成。渦旋盤就是在盤面開(kāi)有一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線螺旋槽的渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤相互交錯(cuò)組裝在一起，動(dòng)、靜盤之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180°相位差，這樣組成的一對(duì)渦旋盤副構(gòu)成了無(wú)油渦旋真空泵的抽氣機(jī)構(gòu)。
　　靜渦旋盤與動(dòng)渦旋盤彼此之間在幾條直線（在橫截面上是幾個(gè)點(diǎn)）上接觸形成幾對(duì)月牙形封閉腔，動(dòng)渦旋盤在曲軸的驅(qū)動(dòng)下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運(yùn)動(dòng)，接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。
　　在電機(jī)的帶動(dòng)下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實(shí)現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。
　　通過(guò)動(dòng)圖我們可以更直觀的了解渦旋式真空泵轉(zhuǎn)子的運(yùn)行模式。
　　三、渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
　　渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，主要由5個(gè)部件組成
　?、賱?dòng)靜渦旋盤副與基座；②曲軸；③密封件；④防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；⑤電機(jī)渦旋真空泵結(jié)構(gòu)
　　渦旋式真空泵的主要運(yùn)動(dòng)件只有動(dòng)渦旋盤，動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小，所以其具備了結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、運(yùn)行平穩(wěn)，幾乎無(wú)磨損，消耗功率小等特點(diǎn)，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。
　　渦旋式真空泵抽速較小，同時(shí)也不適宜用于有毒、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體及藥品、溶劑、粉狀體等介質(zhì)工況環(huán)境。因此目前渦旋式真空泵較多應(yīng)用于分析儀器、半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線、液晶顯示器生產(chǎn)線和科研設(shè)備上。因其可以直接在大氣壓下啟動(dòng)，很多時(shí)候作為分子泵與小型低溫泵的前級(jí)泵出現(xiàn)。