在設(shè)計(jì)上，X射線熒光光譜儀在不進(jìn)入測試界面測試時(shí)，不會發(fā)出任何電離輻射（即X射線）。對于一個給定的輻射源，三個因素決定了人體所接受的輻射劑量：
1、受照射時(shí)間
受照射的時(shí)間越長，人體所接受的輻射劑量也就越大。輻射量與受照射時(shí)間成正比。
2、與輻射源的距離
離輻射源越近，所受的輻射劑量就越大。所接受的輻射劑量與輻射源的距離的平方成反比。例如，距離輻射源1英尺所接受到的輻射量是距離輻射源3英尺所接受到的輻射量的9倍。因此，當(dāng)儀器快門打開時(shí)，應(yīng)保證手和身體的各個部位遠(yuǎn)離儀器的前端，以使所受的輻射量減至最小。
3、輻射屏蔽
屏蔽指的是任何介于操作者和輻射源之間的材料。屏蔽材料越多，材質(zhì)密度越大，所受到的輻射就越少。可選購測試架作為測試樣品過程中一種附加的屏蔽裝置，反向散射屏蔽附件也十分有效，對于某些應(yīng)用特別適合。
X射線熒光光譜儀被廣泛用于冶金、地質(zhì)、礦物、石油、化工、生物、醫(yī)療、刑偵、考古等諸多部門和領(lǐng)域，也是野外現(xiàn)場分析和過程控制分析等方面儀器之一。
X射線熒光分析儀在日常使用中的注意事項(xiàng)：
1、X射線熒光分析儀從根本上來說是一種相對測量儀器，因此在使用過程中，需要定期對儀器進(jìn)行標(biāo)定和校準(zhǔn)。
2、為保證有害元素含量的控制效果，X射線熒光分析儀的測量數(shù)據(jù)應(yīng)與其他的測量手段結(jié)合起來使用；X射線熒光分析儀更適合生產(chǎn)過程的監(jiān)控，甚至可以說：在生產(chǎn)過程中對有害元素含量的監(jiān)控，X射線熒光分析方法是目前唯一可行的分析手段；而有害元素含量的最終裁定，則不應(yīng)該僅僅依靠單一的測量手段。
3、被測量樣品的處理與測量精度的關(guān)系：
從X射線熒光分析理論上說，對被測量樣品進(jìn)行必要的處理是必須的；一般來說，樣品處理的越好，則測量精度就會越高，測量結(jié)果越可靠。在實(shí)際使用過程中，我們應(yīng)該盡量對被測量樣品進(jìn)行必要的物理處理。
在測量不規(guī)則的樣品時(shí)，雖然從X射線熒光分析方法上可以對測量進(jìn)行技術(shù)上的校正，從而滿足實(shí)際測量的需要；但這樣做所付出的代價(jià)是犧牲測量精度和測量數(shù)據(jù)的可靠性。
X射線熒光光譜儀分為波長色散、能量色散、非色散X熒光、全反射X熒光。X射線熒光光譜儀具有重現(xiàn)性好，測量速度快，靈敏度高的特點(diǎn)。
光譜室和樣品室的真空抽不到規(guī)定值
故障分析：X射線熒光光譜分析通常在真空光路條件下工作，但光譜室和樣品室有很多部位與外部相連，可能漏氣的部位很多。檢查真空故障時(shí)，將可能出問題的地方人為分隔為三部分：真空泵、樣品室、光譜室，對這三部分逐一檢查以縮小范圍。
真空泵
將真空泵與光譜室和樣品室的接口拆下并用橡皮塞堵住，然后抽真空，如果能在幾秒鐘內(nèi)抽到規(guī)定值，可以排除真空泵出現(xiàn)故障的可能性。如果能抽到規(guī)定值但時(shí)間較長，可能是真空泵的效率降低，這種情況一般發(fā)生在經(jīng)常分析壓片樣品和油品的儀器上，粉末或油被吸到真空泵油中，改變了油的粘度，這時(shí)需更換真空泵油。
樣品室
樣品室常見的漏氣部位是樣品自轉(zhuǎn)裝置上的密封圈，樣品測量時(shí)通常以0.5轉(zhuǎn)/秒的速度自轉(zhuǎn)，儀器幾年運(yùn)行下來，樣品自轉(zhuǎn)處的密封圈磨損，密封效果變差。
光譜室
光譜室常見的漏氣部位是流氣，流氣計(jì)數(shù)器安裝在光譜室內(nèi)，有一根入氣管和一根出氣管與外界相通，流氣計(jì)數(shù)器的窗膜很薄，窗膜漏氣，就會影響光譜室真空。檢查方法：將入氣管和出氣管用一根軟管連接，使流氣計(jì)數(shù)器與外界隔絕，然后抽真空。
檢查真空故障，在拆卸和安裝時(shí)，要小心操作，不要讓灰或頭發(fā)掉到密封圈上，以避免產(chǎn)生新的漏氣點(diǎn)，安裝時(shí)可以在密封部位涂一點(diǎn)真空油脂。
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