X射線熒光分析技術(shù)（XRF）作為一種快速分析手段，為相關(guān)部門(mén)提供了一種可行的、低成本的并且及時(shí)的檢測(cè)、篩選和控制有害元素含量的有效途徑。相對(duì)于其他分析方法，XRF 具有無(wú)需對(duì)樣品進(jìn)行特別的化學(xué)處理，快速、方便、測(cè)量成本低等明顯優(yōu)勢(shì)，特別適合用于各類(lèi)相關(guān)部門(mén)作為過(guò)程控制和檢測(cè)使用。
X射線熒光光譜儀的維護(hù)保養(yǎng)：
1、X射線熒光光譜儀中最昂貴的部分是高壓 X射線光管，它是儀器的核心部件。X射線光管對(duì)冷卻水的溫度、壓力、電導(dǎo)率都有嚴(yán)格的要求，其較佳冷卻水溫為 22℃～24℃，一般不能超過(guò) 30℃，超過(guò) 35℃則使用壽命會(huì)大大降低。內(nèi)部循環(huán)水用于冷卻陽(yáng)極靶附近的光管頭部分，因此要求內(nèi)部循環(huán)水為電導(dǎo)率很低的去離子水（必須保證該冷卻水的電導(dǎo)率＜2 μs／cm），以防高壓擊穿導(dǎo)致 x射線光管損壞。
2、分光晶體是具有把 X 射線熒光按波長(zhǎng)順序分開(kāi)成光譜作用的晶體。影響分光晶體穩(wěn)定性的因素有：溫度、濕度、酸堿度等。
3、探測(cè)器性能一般用波高分布曲線的半寬高來(lái)衡量，若半寬高增大則說(shuō)明分辨能力下降，檢測(cè)器品質(zhì)變壞。
4、真空系統(tǒng)是X射線熒光光譜儀的重要組成部分。對(duì)于真空泵，主要是應(yīng)該定期檢查真空泵油的油質(zhì)和油量，檢查油質(zhì)時(shí)如果有白色或黑色，就說(shuō)明油質(zhì)不正常，應(yīng)該立即更換泵油。
射線熒光光譜儀結(jié)構(gòu)復(fù)雜，部件眾多，涉及光譜、化學(xué)、機(jī)械、電控等各個(gè)方面，所以，對(duì) X 射線熒光光譜儀的維護(hù)和保養(yǎng)需要具備各方面的知識(shí)，因此需要我們?cè)诠ぷ髦胁粩鄬W(xué)習(xí)，充實(shí)知識(shí)，總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，使X射線熒光光譜儀在使用時(shí)能夠發(fā)揮出最大的效能。
X射線熒光光譜儀分為波長(zhǎng)色散、能量色散、非色散X熒光、全反射X熒光。X射線熒光光譜儀具有重現(xiàn)性好，測(cè)量速度快，靈敏度高的特點(diǎn)。
光譜室和樣品室的真空抽不到規(guī)定值
故障分析：X射線熒光光譜分析通常在真空光路條件下工作，但光譜室和樣品室有很多部位與外部相連，可能漏氣的部位很多。檢查真空故障時(shí)，將可能出問(wèn)題的地方人為分隔為三部分：真空泵、樣品室、光譜室，對(duì)這三部分逐一檢查以縮小范圍。
真空泵
將真空泵與光譜室和樣品室的接口拆下并用橡皮塞堵住，然后抽真空，如果能在幾秒鐘內(nèi)抽到規(guī)定值，可以排除真空泵出現(xiàn)故障的可能性。如果能抽到規(guī)定值但時(shí)間較長(zhǎng)，可能是真空泵的效率降低，這種情況一般發(fā)生在經(jīng)常分析壓片樣品和油品的儀器上，粉末或油被吸到真空泵油中，改變了油的粘度，這時(shí)需更換真空泵油。
樣品室
樣品室常見(jiàn)的漏氣部位是樣品自轉(zhuǎn)裝置上的密封圈，樣品測(cè)量時(shí)通常以0.5轉(zhuǎn)/秒的速度自轉(zhuǎn)，儀器幾年運(yùn)行下來(lái)，樣品自轉(zhuǎn)處的密封圈磨損，密封效果變差。
光譜室
光譜室常見(jiàn)的漏氣部位是流氣，流氣計(jì)數(shù)器安裝在光譜室內(nèi)，有一根入氣管和一根出氣管與外界相通，流氣計(jì)數(shù)器的窗膜很薄，窗膜漏氣，就會(huì)影響光譜室真空。檢查方法：將入氣管和出氣管用一根軟管連接，使流氣計(jì)數(shù)器與外界隔絕，然后抽真空。
檢查真空故障，在拆卸和安裝時(shí)，要小心操作，不要讓灰或頭發(fā)掉到密封圈上，以避免產(chǎn)生新的漏氣點(diǎn)，安裝時(shí)可以在密封部位涂一點(diǎn)真空油脂。
X射線熒光光譜是一種常用的光譜技術(shù)，既可用于材料的組成成分分析，又可用于涂層和多層薄膜厚度的測(cè)量等。能量色散X射線熒光光譜儀體系（EDXRF），這種體系如今已經(jīng)具有許多不同的配置規(guī)格，既有臺(tái)式配置的，又有便攜的、手持式配置的。
那么該類(lèi)儀器應(yīng)如何選擇，選擇時(shí)該考量的組件有哪些呢？
（1）氣氛
X射線熒光光譜儀能夠分析元素周期表中的大部分元素，具體而言，從鈉元素（原子序數(shù)Z=11）到鈾元素（原子序數(shù)Z=92）都可以利用這種技術(shù)進(jìn)行檢測(cè)分析。
但是對(duì)于原子序數(shù)較低的元素（鈦元素Ti，Z=22以下），空氣會(huì)對(duì)檢測(cè)結(jié)果產(chǎn)生較大影響；由低原子序數(shù)元素產(chǎn)生的熒光值通常更低，并且樣品基體中的其它元素有可能會(huì)吸收低原子序數(shù)元素的能量輻射。
通常情況下，用于提高低原子序數(shù)元素的檢測(cè)靈敏度的方法主要為將儀器的樣品室抽成真空環(huán)境或者以氦氣(He)沖洗樣品室。
（2）探測(cè)器
新型探測(cè)器技術(shù)—硅漂移探測(cè)器（SDDs）能夠提高低能量敏感度，使得X射線熒光光譜技術(shù)可以對(duì)一些低原子序數(shù)元素進(jìn)行檢測(cè)分析，甚至是在空氣氣氛中也能進(jìn)行檢測(cè)，例如用于測(cè)量化學(xué)鍍鎳涂層中磷元素（原子序數(shù)Z=15）的含量。但是，大多數(shù)的低原子序數(shù)元素的檢測(cè)分析依然還需要隔離空氣氣氛。
在能量色散X射線熒光光譜儀中，硅探測(cè)器已經(jīng)變得非常普遍；今天用到的硅探測(cè)器要么就是上面提到的硅漂移探測(cè)器，要么就是Si-PIN探測(cè)器，而比較流行的第三種探測(cè)器是一種密封的、充氣的正比計(jì)數(shù)器。
對(duì)于不同的應(yīng)用用途，X射線熒光光譜儀體系中探測(cè)器的選擇也不盡相同——例如對(duì)于定性分析往往需要用到硅漂移探測(cè)器。
正比計(jì)數(shù)器探測(cè)器較大的半寬高（FWHM）會(huì)導(dǎo)致相鄰元素的檢測(cè)譜圖嚴(yán)重重疊，以至于利用峰值搜索算法和/或可見(jiàn)光譜觀察法都無(wú)法探測(cè)出其中某種或者多種成分的存在。對(duì)于一些需要鑒別元素成分的工業(yè)制造品，其質(zhì)量檢驗(yàn)結(jié)果由于發(fā)生嚴(yán)重重疊，難以分辨，造成難以檢測(cè)。
雖然利用硅探測(cè)器也會(huì)發(fā)生譜圖上的峰重疊現(xiàn)象，但在大多數(shù)的情況下，這些重疊峰能夠被輕易的分離和識(shí)別，這些特征使得硅探測(cè)器體系極其適用于定性分析和來(lái)料檢驗(yàn)等方面。
組成能量色散X射線熒光光譜儀的電子器件一般都非常穩(wěn)定，不會(huì)影響分析精度；而無(wú)規(guī)計(jì)數(shù)誤差通常對(duì)測(cè)量精度的影響較大。計(jì)數(shù)誤差一般遵循泊松統(tǒng)計(jì)分布——每次測(cè)量獲得的數(shù)據(jù)越多，測(cè)量精度越高。
硅漂移探測(cè)器具有很高的數(shù)據(jù)吞吐量，因此當(dāng)測(cè)量需要多采樣、高精度時(shí)可以考慮使用這種探測(cè)器；但這通常需要樣品具有較高的熒光強(qiáng)度值。熒光強(qiáng)度值取決于樣品——如樣品類(lèi)型，樣品測(cè)量區(qū)域等。
在分析測(cè)量一些薄膜或者小樣品時(shí)，樣品的特性可能會(huì)很微小。當(dāng)樣品或者樣品區(qū)很?。ㄖ睆街挥袔资⒚祝r(shí)，探測(cè)器的立體角則會(huì)起到很大的作用。
而樣品或樣品區(qū)很小的情況往往都發(fā)生在測(cè)量電子元件和功能性涂層厚度等時(shí)候，這時(shí)正比計(jì)數(shù)器就成為了一種非常受歡迎的選擇，因?yàn)檫@種探測(cè)器具有的大俘獲角允許可以使用更小的準(zhǔn)直儀。
因此，當(dāng)樣品譜圖相對(duì)簡(jiǎn)單，含有元素只有兩到三種，樣品分析區(qū)域直徑小到100-200微米時(shí)，正比計(jì)數(shù)器則是一個(gè)非常理想的選擇。
（3）X射線源（X射線管、供電電源、濾光片、光束尺寸）
這里將一些組件都列到X射線源里面統(tǒng)一討論，包括X射線管、電源供應(yīng)器、濾光片、光束尺寸。
X射線管和供電電源決定了檢測(cè)樣品將受到的能量強(qiáng)度和能量分布。商業(yè)化的能量色散X射線熒光光譜儀中用到的大多數(shù)X射線管都是50KV，1mA（50W）規(guī)格的。
50KV的高電壓能夠提供更高的激發(fā)效率；X射線管通量可以利用燈絲電流設(shè)置進(jìn)行控制。
X射線管本質(zhì)上是一個(gè)在高電壓下工作的二極管，包括一個(gè)發(fā)射電子的陰極和一個(gè)收集電子的陽(yáng)極（也即靶材）；比較常用的陽(yáng)極材料有鎢（W）、銠（Rh）、鉬（Mo）和鉻（Cr）等，其中鎢（W）和銠（Rh）使用較為廣泛。
鎢金屬能夠產(chǎn)生更強(qiáng)的軔致輻射，也因此能得到更高的能量（17-30KeV）激發(fā)效率。對(duì)于低原子序數(shù)元素的激發(fā)，則通常選取銠（Rh）元素。
濾光片通常置于X射線管窗和樣品之間以過(guò)濾由X射線管產(chǎn)生的特定能量波。濾光片主要起到兩方面作用：
一是當(dāng)X射線管可能會(huì)對(duì)樣品中待檢測(cè)元素產(chǎn)生影響時(shí)去除管特征譜的干擾；
二是去除光譜背景的主要來(lái)源——背散射輻射。光譜背景峰的去除能夠有效提高峰/背比響應(yīng)值，提高檢出限。
光束尺寸通常由具有不同直徑的圓形（有時(shí)也為矩形）準(zhǔn)直器控制；準(zhǔn)直器尺寸與準(zhǔn)直器到樣品間的距離決定了其分析領(lǐng)域。
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