不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同。因此往往必須由一套真空機(jī)組來完成，即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來。
高真空一側(cè)的真空泵能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側(cè)的真空泵是直排大氣的。顯然比較簡單的真空機(jī)組就是一臺直排大氣的真空泵。但高真空系統(tǒng)一般需要三級機(jī)組，中真空一般需要二級機(jī)組。
選用原則
?。?）真空泵的結(jié)構(gòu)：抽腐蝕性氣體，必須要求真空泵用耐腐蝕材料或襯耐腐蝕材料制成。抽與油起作用的氣體，不能選擇使用潤滑油的真空泵。
?。?）滿足工藝要求：如減壓塔頂不凝氣體的量很大，必須選用蒸汽噴射真空泵，因?yàn)樗哂姓婵斩雀?，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便等特點(diǎn)，在減壓塔內(nèi)造成很高真空，有利于在減壓下分餾，保證了產(chǎn)品質(zhì)量。
?。?）足夠的抽氣速率：在允許的時(shí)間內(nèi)，能把需要抽走的氣體抽出，才能保證生產(chǎn)的正常進(jìn)行。
?。?）工作時(shí)間：連續(xù)工作時(shí)間能保證一個(gè)工藝循環(huán)的基本要求，不能因?yàn)檫B續(xù)工作時(shí)間短而影響生產(chǎn)。
真空泵的主要參數(shù)
?。?）抽氣速率：真空泵的抽氣速率也叫生產(chǎn)能力，在一定溫度下，真空泵在單位時(shí)間內(nèi)能從設(shè)備內(nèi)抽走氣體的體積，單位m3/s或m3/h表示。
（2）殘余壓力：也叫極限真空即真空泵能達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)下的zui低壓力，單位“Torr”或%表示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。
?。?）抽氣量：在一定溫度下，真空泵在單位時(shí)間內(nèi)能從設(shè)備內(nèi)抽走指定氣體量叫抽氣量，單位m3/h。
?。?）起動壓力：真空泵開始工作時(shí)的壓力。
真空泵的特點(diǎn)
1、真空度：干式螺桿真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高，最高極限真空均可達(dá)到1-2Pa，珂勒曦的干式螺桿真空泵極限真空已突破0.1Pa；無油往復(fù)真空泵為粗真空設(shè)備，極限真空度低，需要搭配羅茨等其他真空泵提高極限真空。
2、抽氣量：無油渦旋真空泵由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)問題，抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中；干式螺桿真空泵型號齊全，可適用大抽氣量工藝中，配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。
3、穩(wěn)定性：干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定，噪音低，故障率低；無油往復(fù)真空泵結(jié)構(gòu)簡單，噪音較高，需要經(jīng)常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復(fù)雜，轉(zhuǎn)子與軸不為一體，出現(xiàn)故障需全部重新拆解裝配，反復(fù)裝配從而降低產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性。
4、特殊工況處理：由于化工、制藥、半導(dǎo)體行業(yè)等相關(guān)工藝氣中會不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體，所以干式真空泵需要特殊處理。干式螺桿真空泵內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡單，兩根轉(zhuǎn)子、泵腔均可做防腐處理，常見的有鎳磷涂層和特氟龍涂層，珂勒曦干式螺桿真空泵采用則是特殊的多層鍍鎳和納米材料鍍層，有效防止鹽酸等高腐蝕性介質(zhì)對設(shè)備的侵蝕。爪式真空泵很難做防腐處理，各級隔板之間幾乎無法做表面處理，轉(zhuǎn)子表面的防腐涂層也容易在裝配時(shí)損傷。無油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體，不能抽取易燃、易爆及具有腐蝕性的氣體。
在某些中真空應(yīng)用中，需要進(jìn)入10-1Pa范圍，這對羅茨泵的二級機(jī)組往往難于實(shí)現(xiàn)，而使用二級羅茨泵串接的三級機(jī)組可使真空度提高一個(gè)數(shù)量級而進(jìn)入10-1Pa，所以中真空應(yīng)用也常用三級機(jī)組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿抽速，所以亦可以在三級中真空機(jī)組中取代兩級羅茨泵。
一般地講，長時(shí)間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵，分子增壓泵可以完全取代。而長時(shí)間工作在中真空高端壓力范圍的羅茨泵相對而言應(yīng)該較少，因?yàn)檫@一壓力范圍前級泵往往還具有強(qiáng)勁的抽速。
旋片真空泵是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000-4000Pa，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270-670Pa。旋片真空泵也可用作壓縮機(jī)，稱為旋片式壓縮機(jī)，是屬于低壓的壓縮機(jī)，其壓力范圍為1-2×105Pa表壓力。
在旋片真空泵泵體中裝適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切，旋片的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸。旋片真空泵在此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn)，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)，小腔由大變小，使氣體被壓縮；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。
由此可見，旋片真空泵是靠泵腔容積的變化來實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?/p>
真空泵維修保養(yǎng)應(yīng)該關(guān)好出水管路的閘閥和出口壓力表及進(jìn)口真空表。點(diǎn)動電機(jī)，試看電機(jī)轉(zhuǎn)向是否正確。
開動電機(jī)，當(dāng)真空泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)后，打開出口壓力表和進(jìn)口真空泵，視其顯示出適當(dāng)壓力后，逐漸打開閘閥，同時(shí)檢查電機(jī)負(fù)荷的真空泵維修保養(yǎng)情況。
真空泵的維修注意事項(xiàng)：
1、切斷電源，拔下電源插頭。該泵如在系統(tǒng)上，應(yīng)當(dāng)從設(shè)備上取下。
2、擰開放油螺栓放油，用手盤動皮帶輪，使泵腔內(nèi)余油全部放出。油應(yīng)收集好，一般是在真空泵底板下放一鐵制油盤或磁盤等(通稱方盤)收集，以便于今后蒸餾回收和免于污染環(huán)境。
3、拆下皮帶，卸下皮帶輪、鍵，脫開底板，視電機(jī)好壞程度(如發(fā)熱、過臟、有干磨的噪音，振動較大等)應(yīng)予修理或送電工洗油修理。
4、先拆低真空端蓋板(后端蓋板，即遠(yuǎn)離泵輪的一端)，拆卸時(shí)根據(jù)不同螺釘使用不同的工具。
對于一般六角螺釘可用呆扳手，內(nèi)六角螺釘要用內(nèi)六角扳手，必要時(shí)要使用套筒扳手，這樣不會損壞螺釘。擰開端蓋板螺釘后，輕啟端蓋板。端蓋板如密合得很緊，則應(yīng)慢慢設(shè)法起開。
例如，可用銼刀在泵腔與端蓋板合縫處銼一小槽，然后用起子(改錐)插于小槽處用手敲起子把手，亦可用小錘輕敲起子以退出端蓋板，切不可重錘敲打。
5、用橡皮墊圈密封的則取下橡皮墊圈，退出定位銷。
6、取出轉(zhuǎn)子及旋片。通常在低轉(zhuǎn)子端而設(shè)有兩個(gè)攻了絲的孑匕用絲桿擰入此孑匕便很容易地拉出低轉(zhuǎn)子
了。但要注意拉出轉(zhuǎn)子時(shí)一定要用手捏緊旋片，因旋片受彈簧力較大，一不小自容易脫手飛出，掉于地上或碰到硬物，碰壞旋片棱角及表面造成無端報(bào)賡。
7、拆卸高真空端，拿出高轉(zhuǎn)子和旋片。此時(shí)，只需用手捏緊旋片和軸即可取出轉(zhuǎn)子。
8、動手拆泵以前，應(yīng)事先了解清楚待拆修泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、各零部件大致屬哪種結(jié)構(gòu)型式。
例如，對那些本身屬于組合件的部件，如某些旋片泵的轉(zhuǎn)子等，則不要拆卸，可對其表面作適當(dāng)?shù)男拚{(diào)整;如果組合轉(zhuǎn)子內(nèi)落入玻璃屑、金屬異物傷了腔體或本身旋片槽已磨損過多，需修換配件時(shí)，則可拆卸，但要小心記住其裝配方法。
9、每拆下一個(gè)部件，都要檢查其精度和光潔度以及損壞情況。旋片及轉(zhuǎn)子兩頭的棱角要特別注意檢查其有否損壞，并作好記錄。
對于業(yè)務(wù)尚不太熟悉的修泵者，則更應(yīng)逐步記住各部件、零件的原裝配位置，作好記錄，以防重裝時(shí)記不清搞錯(cuò)。
同時(shí)，拆下的零部件不可亂放，堆徹，碰傷，丟失。將其放于一個(gè)方磁盤里，也可放于木盒中并清洗干凈，以綢布蓋上。
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