熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是用于測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量的儀表，區(qū)別于其它氣體流量計(jì)，不需要進(jìn)行壓力和溫度修正，直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。
一、應(yīng)用領(lǐng)域：
1、半導(dǎo)體制造行業(yè)；
2、分析儀器設(shè)備行業(yè)；
3、各種形式的真空鍍膜設(shè)備；
4、環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備；
5、化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)；
6、特種材料表面處理裝置與燃燒；
7、混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測(cè)系統(tǒng)等。
二、選型注意事項(xiàng)：
1.通過(guò)的介質(zhì)。
熱式氣體流量計(jì)適用于各種氣體，包括特殊氣體和腐蝕性氣體。以腐蝕性氣體為例：腐蝕性氣體通過(guò)流量計(jì)的時(shí)候如果流量計(jì)沒(méi)有經(jīng)過(guò)特殊處理過(guò)，會(huì)因?yàn)楦g性氣體的特性，造成密封元件等方面的故障，從而影響到了流量計(jì)的正常使用，因此相關(guān)特性的介質(zhì)在選型的時(shí)候需特別關(guān)注密封材料等信息，如全金屬密封，耐氨橡膠等密封材質(zhì)。另外像氫氣、甲烷等可燃性氣體需注意氣體濃度過(guò)高所造成的爆點(diǎn)問(wèn)題等等。
2.量程范圍（或者稱(chēng)之為流量范圍）。
在流量計(jì)選型的時(shí)候，首先要確定所需流量計(jì)的量程問(wèn)題，以HORIBAMETRON（堀場(chǎng)匯博?。┕井a(chǎn)品為例：公司產(chǎn)品以氮?dú)猓∟2）來(lái)標(biāo)定,如用其他氣體時(shí)需要進(jìn)行換算，非氮?dú)饨橘|(zhì)時(shí)是以氮?dú)馀c該氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)來(lái)?yè)Q算以確定標(biāo)定流量。
3.壓力范圍。HORIBAMETRON流量計(jì)耐壓范圍是3MPa,壓差范圍為（0.05-0.3）MPa。3MPa以?xún)?nèi)無(wú)需任何補(bǔ)償可直接安裝使用；需注意的是有些行業(yè)需要在高壓狀態(tài)下工作，要明確壓力范圍是否滿(mǎn)足。
4.接口通徑。
選擇接口時(shí)需針對(duì)管路狀況進(jìn)行選擇，就目前而言以Ф3mm～Ф10mm,1/4″Swagelok(或VCR)，軟管接頭Ф4mm～Ф10mm等為主。
5.供電電壓和控制。
以HORIBAMETRON流量計(jì)而言，供電電壓有±15V和24V兩種。控制接口有9針和15針的，也有9孔和15孔的。
6.通信協(xié)議。
相對(duì)于數(shù)字式流量計(jì)而言很多時(shí)候都會(huì)涉及到通信協(xié)議問(wèn)題，以MODBUS、Profibus、DeviceNet為標(biāo)準(zhǔn)，在選擇時(shí)注意協(xié)議類(lèi)型。備注（某些行業(yè)在選擇流量計(jì)時(shí)模擬控制就可滿(mǎn)足要求）需注意。
7.其他相關(guān)問(wèn)題請(qǐng)?jiān)敿?xì)咨詢(xún)廠家相關(guān)技術(shù)人員。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是江蘇宏儀所生產(chǎn)工業(yè)測(cè)量的重要儀表當(dāng)中的一種，現(xiàn)在是隨著工業(yè)自動(dòng)化的生產(chǎn)與發(fā)展，對(duì)其流量?jī)x表測(cè)量的準(zhǔn)確度一測(cè)量范圍要求是越來(lái)越高了。
流量測(cè)量都是大同小異的，為了能適合在各種行業(yè)當(dāng)中有所應(yīng)用，各種各樣的流量計(jì)都在使用，目前工業(yè)當(dāng)中所使用的流量計(jì)品種已經(jīng)有很多。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)它是在行業(yè)中應(yīng)該較為廣泛的一種，其可以分為兩種工作的原理，一是恒溫差發(fā)流量計(jì)、二是恒功率法流量計(jì)。
從而使氣體質(zhì)量流量計(jì)的發(fā)展史上可以看出，恒溫差式流量計(jì)比較先用于工業(yè)介質(zhì)當(dāng)中的測(cè)量，這是因?yàn)楹銣夭钍揭群愎β适礁拥暮?jiǎn)單。
所以在其生產(chǎn)熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的廠家當(dāng)中，這個(gè)是比較簡(jiǎn)單的，熱式流量計(jì)實(shí)質(zhì)是利用爐體流動(dòng)時(shí)與固體時(shí)間的相交換，就能通過(guò)測(cè)量熱量的傳播、移動(dòng)與平衡來(lái)控制流體的流量。
熱式氣質(zhì)流量計(jì)其恒溫差法是在加熱元件的溫度過(guò)高于氣體溫度，氣體在流過(guò)流量計(jì)時(shí)會(huì)帶走小部分的熱量，這樣就能保證加熱元件與被測(cè)氣體溫度差恒定時(shí)存在有一定的溫差。
是來(lái)測(cè)量熱源與控制所支持的功率，功率的消耗會(huì)隨其流量的變化而發(fā)生變化，因?yàn)楣β实南氖欠磻?yīng)出氣體的流量。
質(zhì)量流量計(jì)流體的流量與加入電流或是電壓會(huì)成比例關(guān)系，流體的流量越是大，其維持恒定溫度差而加入的電流或是電壓也就會(huì)越大。
那樣就能通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)標(biāo)定出加熱電流與質(zhì)量流量的關(guān)系，就能通過(guò)電流來(lái)算出流量的質(zhì)量流量。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)在實(shí)際應(yīng)用中精度及影響精度的因素主要有以下幾個(gè)方面：
1、精度的概念：
在正常的使用條件下,儀表測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確程度叫儀表的準(zhǔn)確度、習(xí)慣上稱(chēng)為精度。
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的精度為：±1%讀數(shù) + ±0.5%滿(mǎn)量程
2、直管段的影響：
直管段不足時(shí)，對(duì)測(cè)量精度有影響，不同的流阻影響的大小不同，提供流阻信息和直管段長(zhǎng)度，可計(jì)算出偏差大小。
3、水、水汽：
所測(cè)介質(zhì)中含有水或水汽，如果在探頭上結(jié)有水滴，將會(huì)造成測(cè)量值偏大。偏差大小是不可計(jì)算的。
4、插入深度的影響：
在標(biāo)定時(shí)，傳感器的探頭在管道的中心線上，如果實(shí)際安裝時(shí)偏離中心線，將會(huì)造成測(cè)量值有偏差。偏差大小是不可計(jì)算的。
5、組份變化：
當(dāng)所測(cè)介質(zhì)組份發(fā)生變化時(shí)，將會(huì)造成測(cè)量值有偏差。提供變化后的組份，可計(jì)算出偏差大小。
6、解決措施：
對(duì)介質(zhì)中含有水或水汽的測(cè)量，建議采用在水平管道的下半圓斜向上45 度角開(kāi)孔的安裝方式。
針對(duì)以上幾個(gè)方面的因素，我們可以看出熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)在使用過(guò)程中，工況環(huán)境對(duì)產(chǎn)品的影響比較大，還有就是有合理的安裝方式，這樣才能使得熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)保持其精度。
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