X熒光光譜儀適用于工廠來料及制程控制中的有害物質(zhì)檢測，鉛(Pb)、汞(Hg)、鎘(Cr)、鉻(Cd)、溴(Br)、氯(Cl)控制的利器。無損檢測，可對電子電氣設(shè)備，玩具指令中的有害物質(zhì)進(jìn)行定性定量分析。
X熒光光譜儀優(yōu)勢:
a)分析速度快。測定用時(shí)與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b)X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。(氣體密封在容器內(nèi)也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測定。
c)非破壞分析。在測定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
d)X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。
e)分析精密度高。
f)制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
X熒光光譜儀劣勢：
a)難于作絕對分析，故定量分析需要標(biāo)樣。
b)對輕元素檢測的靈敏度要低一些。
c)容易受相互元素干擾和疊加峰影響。
X射線熒光分析技術(shù)（XRF）作為一種快速分析手段，為相關(guān)部門提供了一種可行的、低成本的并且及時(shí)的檢測、篩選和控制有害元素含量的有效途徑。
相對于其他分析方法，XRF具有無需對樣品進(jìn)行特別的化學(xué)處理，快速、方便、測量成本低等明顯優(yōu)勢，特別適合用于各類相關(guān)部門作為過程控制和檢測使用。
X射線熒光光譜儀的維護(hù)保養(yǎng)：
1、X射線熒光光譜儀中最昂貴的部分是高壓X射線光管，它是儀器的核心部件。X射線光管對冷卻水的溫度、壓力、電導(dǎo)率都有嚴(yán)格的要求，其較佳冷卻水溫為22℃～24℃，一般不能超過30℃，超過35℃則使用壽命會(huì)大大降低。
內(nèi)部循環(huán)水用于冷卻陽極靶附近的光管頭部分，因此要求內(nèi)部循環(huán)水為電導(dǎo)率很低的去離子水（必須保證該冷卻水的電導(dǎo)率＜2μs／cm），以防高壓擊穿導(dǎo)致x射線光管損壞。
2、分光晶體是具有把X射線熒光按波長順序分開成光譜作用的晶體。影響分光晶體穩(wěn)定性的因素有：溫度、濕度、酸堿度等。
3、探測器性能一般用波高分布曲線的半寬高來衡量，若半寬高增大則說明分辨能力下降，檢測器品質(zhì)變壞。
4、真空系統(tǒng)是X射線熒光光譜儀的重要組成部分。對于真空泵，主要是應(yīng)該定期檢查真空泵油的油質(zhì)和油量，檢查油質(zhì)時(shí)如果有白色或黑色，就說明油質(zhì)不正常，應(yīng)該立即更換泵油。
X射線熒光光譜儀屬于大型分析儀器，它主要由以下幾部分組成：
（1）X射線系統(tǒng)（X射線光管、高壓變壓器、管壓管流控制單元）；
（2）水循環(huán)冷卻系統(tǒng)（內(nèi)外部冷卻水單元、溫度、電導(dǎo)率控制監(jiān)測單元）；
（4）真空系統(tǒng)（真空泵、樣品室）；
（5）檢測系統(tǒng)（光譜室、分光晶體、衰減器、狹縫、測角儀、晶體交換器等）；
（6）檢測記錄系統(tǒng)（流〈充〉氣正比計(jì)數(shù)器和閃爍計(jì)數(shù)器、脈沖高度分析器等）；
（7）數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。
首先，我們必須注意的是X射線熒光光譜儀對周圍環(huán)境的要求較高，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)要保證恒溫、恒濕（22度左右、濕度60%以下），特別是在南方潮濕的天氣環(huán)境下，更要特別注意。
儀器實(shí)驗(yàn)室必須安裝空調(diào)設(shè)備，儀器的使用環(huán)境中，不能有酸霧存在，也就是說，XRF儀器不要和化學(xué)實(shí)驗(yàn)室在同一個(gè)房間內(nèi)。因?yàn)閄光管和探測器都有用金屬鈹做的窗口，金屬鈹很容易被酸腐蝕。其次是實(shí)驗(yàn)室要環(huán)境清潔，保證電源穩(wěn)定，避免震動(dòng)。為了儀器正常運(yùn)轉(zhuǎn)，儀器還必須有獨(dú)立地線。
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