水準(zhǔn)儀是在17~18世紀(jì)發(fā)明了望遠(yuǎn)鏡和水準(zhǔn)器后出現(xiàn)的。20世紀(jì)初，在制出內(nèi)調(diào)焦望遠(yuǎn)鏡和符合水準(zhǔn)器的基礎(chǔ)上生產(chǎn)出微傾水準(zhǔn)儀。50年代初出現(xiàn)了自動(dòng)安平水準(zhǔn)儀，60年代研制出激光水準(zhǔn)儀。90年代研制出了數(shù)字水準(zhǔn)儀。歷史上，還有老式的活鏡水準(zhǔn)儀等。
　　水準(zhǔn)儀的檢驗(yàn)方法
　　一、水準(zhǔn)儀的軸線及各軸線應(yīng)滿足的幾何條件：

　　如圖1所示，微傾水準(zhǔn)儀有四條軸線，即望遠(yuǎn)鏡的視準(zhǔn)軸CC，水準(zhǔn)管軸LL，圓水準(zhǔn)器軸L‘L‘，儀器的豎軸VV，各軸線間應(yīng)滿足的幾何條件如下：
　?、賵A水準(zhǔn)器軸平行于儀器豎軸，即L'L’平行于VV；
　?、谑纸z橫絲垂直于豎軸，即十字絲橫絲水平；
　?、鬯疁?zhǔn)管軸平行于視準(zhǔn)軸，即LL平行cc。
　　二、水準(zhǔn)儀的檢驗(yàn)
　?、賵A水準(zhǔn)器的檢驗(yàn)
　　目的：使圓水準(zhǔn)器軸平行于豎軸，即L'L’平行于VV；
　　檢驗(yàn)：轉(zhuǎn)動(dòng)腳螺旋使圓水準(zhǔn)器氣泡居中，然后將儀器轉(zhuǎn)動(dòng)180°，這時(shí)如果氣泡不再居中，而偏離一邊，說明L'L’不平行于VV，需要校正（如圖2）；

　?、谑纸z橫絲的檢驗(yàn)
　　目的：當(dāng)儀器整平后，十字絲的橫絲應(yīng)水平，即橫絲應(yīng)垂直于豎軸
　　檢驗(yàn)：整平儀器，在望遠(yuǎn)鏡中用橫絲的十字絲中心對(duì)準(zhǔn)某一標(biāo)志P，擰緊制動(dòng)螺旋，轉(zhuǎn)動(dòng)微動(dòng)螺旋。微動(dòng)時(shí)，如果標(biāo)志始終在橫絲上移動(dòng)，則表明橫絲水平，如果標(biāo)志不在橫絲上移動(dòng)，表明橫絲不水平，需要校正（如圖3）。

　　三、水準(zhǔn)管軸的檢驗(yàn)
　　目的：使水準(zhǔn)管軸平行于視準(zhǔn)軸，即LL平行cc；
　　檢驗(yàn)：在平坦的地面上選定相距為80m左右的A、B兩點(diǎn)，并在上面立尺（圖4）；
　?、賹⑺疁?zhǔn)儀置于與A、B等距離的C點(diǎn)處，用儀器高（或雙面尺法）測(cè)定A、B兩點(diǎn)的高差h，設(shè)其讀數(shù)分別為a和b，則h=a-b，兩次高差之差應(yīng)小于3mm，取其平均值作為A、B間的高差，此時(shí)，測(cè)得的高差h是正確的，因此，建設(shè)此時(shí)水準(zhǔn)儀的視準(zhǔn)軸不平行于水準(zhǔn)管軸，即傾斜了i角，分別引起讀數(shù)誤差△a和△b，當(dāng)因BC=AC，則△a=△b=△；（這說明無論視準(zhǔn)軸與水準(zhǔn)管軸平行與否，由于水準(zhǔn)儀安置在距水準(zhǔn)尺等距離處，測(cè)出的是正確高差）。
　?、趯x器搬至距A尺(或B尺)3米左右處，精平儀器后，在B尺上讀數(shù)b2.因?yàn)閮x器距B尺很近，忽略i角的影響，b2可認(rèn)為是水平視線的讀數(shù)，根據(jù)近尺讀數(shù)b2和高差h計(jì)算出A尺上水平視線應(yīng)有讀數(shù)為a2=b2-h；
　?、弁h(yuǎn)鏡照準(zhǔn)A點(diǎn)上水準(zhǔn)尺，精平儀器讀數(shù).如果實(shí)際讀數(shù)的a2'=a2說明水準(zhǔn)管軸平行于視準(zhǔn)軸(i=【(a2'-a2)/Dab】*p“）
　　式中Dab——A、B兩點(diǎn)間的距離。p”——206265“
　　對(duì)于DS3水準(zhǔn)儀，當(dāng)i>20"，則需校正。