高溫四探針測(cè)試儀可以實(shí)現(xiàn)高溫、真空及惰性氣氛條件下測(cè)量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率和外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其他導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。
高溫四探針測(cè)試儀的測(cè)量原理
測(cè)量電阻率的方法很多，如三探針法、電容-電壓法、擴(kuò)展電阻法等，四探針法則是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法，高溫四探針測(cè)試儀采用經(jīng)典直排四探針原理，同時(shí)采用了雙電測(cè)組合四探針法。
經(jīng)典的直排四探針法測(cè)試電阻率，要求使用等間距的探針，如果針間距離不等或探針有游移，就會(huì)造成實(shí)驗(yàn)誤差。當(dāng)被測(cè)片較小或在大片邊緣附近測(cè)量時(shí)，要求計(jì)入電場(chǎng)畸變的影響進(jìn)行邊界修正。
采用雙電測(cè)組合四探針的出現(xiàn)，為提高薄膜電阻和體電阻率測(cè)量準(zhǔn)確度創(chuàng)造了有利條件。
高溫四探針測(cè)試儀采用雙電測(cè)組合四探針法的優(yōu)勢(shì)
采用雙電測(cè)組合四探針法進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試結(jié)果與探針間距無關(guān)，能夠消除間距不等及針尖機(jī)械游移變化的影響，因此四探針測(cè)試臺(tái)允許使用不等距探針頭。
采用雙電測(cè)組合四探針法具有自動(dòng)修正邊界效應(yīng)的功能，對(duì)小尺寸被側(cè)片或探針在較大樣品邊緣附近時(shí)，不需要對(duì)樣品做幾何測(cè)量，也不需要尋找修正因子。
采用雙電測(cè)組合四探針法，不移動(dòng)四探針針頭，同時(shí)使用三種模式測(cè)量，既可計(jì)算得到測(cè)試部位的電阻均勻性。
在臭氧測(cè)試儀運(yùn)行過程中難免遇到一些故障問題，其實(shí)很多都不是什么大問題。
一、臭氧測(cè)試儀故障問題：做試驗(yàn)時(shí)，臭氧濃度顯示值不能穩(wěn)定控制數(shù)值范圍，出現(xiàn)或高或低的現(xiàn)象;
解決方案：變送器在出廠前要經(jīng)過幾十個(gè)小時(shí)的極化，經(jīng)確認(rèn)穩(wěn)定后方可出廠，一般出現(xiàn)這種情況多是在安裝變送器時(shí)，變送器與箱體有連接處，只要做好變送器與箱體的絕緣即可;
二、臭氧測(cè)試儀故障問題：做試驗(yàn)時(shí)，臭氧發(fā)生器一直在工作，顯示的數(shù)值也一直上升、控制不住;
解決方案：出現(xiàn)此現(xiàn)象一般是固態(tài)輸出信號(hào)不對(duì)或者是固態(tài)繼電器斷不開
三、臭氧測(cè)試儀故障問題：開機(jī)后30秒二次表沒有臭氧濃度值顯示、只有上限或下限顯示;
解決方案：
1.出現(xiàn)上限一般是沒有4-20mA信號(hào)輸入，檢查臭氧變送器是否有24V供電→4-20mA輸出線路→傳感器與主板的連接線是否脫落或松動(dòng);
2.出現(xiàn)下限可能是變送器零點(diǎn)過低，可調(diào)整零點(diǎn)(調(diào)零點(diǎn)：打開前蓋用特小改錐看清ZERO電位器逆時(shí)針慢慢調(diào)，直至二次表顯示數(shù)值);
3.打開變送器前蓋，把萬用表調(diào)至電壓檔測(cè)量上面的兩根銅針(零點(diǎn)電壓應(yīng)為40mV)如果過高或過低，把它調(diào)整到40mV，調(diào)整方法按2里面調(diào)零點(diǎn)的方法;
恒溫恒濕測(cè)試儀是航空、汽車、家電、科研等領(lǐng)域必備的測(cè)試設(shè)備，用于測(cè)試和確定電工、電子及其他產(chǎn)品及材料進(jìn)行高溫、低溫、濕熱度或恒定試驗(yàn)的溫度環(huán)境變化后的參數(shù)及性能?！ ?、假如實(shí)驗(yàn)樣品和資料體積過大，或?qū)嶒?yàn)?zāi)繕?biāo)放置在恒溫恒濕測(cè)試儀作業(yè)室內(nèi)的方位或方法不合適，使里邊空氣對(duì)流受阻，也會(huì)發(fā)生較大的溫度均勻度的誤差?！ ?、作業(yè)室內(nèi)實(shí)驗(yàn)?zāi)繕?biāo)空間的組織：假如恒溫恒濕測(cè)試儀作業(yè)室內(nèi)放置了滿足影響內(nèi)部全體熱對(duì)流的實(shí)驗(yàn)樣品，必然會(huì)在必定程度 上影響內(nèi)部溫度的均勻性?！ ?、規(guī)劃上的疑問致使恒溫恒濕測(cè)試儀在內(nèi)部構(gòu)造、空間的規(guī)劃很難到達(dá)均勻的對(duì)稱構(gòu)造，而不對(duì)稱的構(gòu)造必然會(huì)致使內(nèi)部溫度均 勻度發(fā)生誤差。 4、因?yàn)樽鳂I(yè)室的箱壁前后左右上下6個(gè)面的傳熱系數(shù)不一樣，有的有穿線孔、檢查孔、測(cè)驗(yàn)孔等致使部分有散熱、傳熱，使箱體溫 度不均勻，然后使箱壁幅射對(duì)流傳熱也不均勻，影響溫場(chǎng)均勻。 5、箱體和門的密封性不嚴(yán)，比方：密封條費(fèi)定制的有接縫，大門漏氣等，然后影響作業(yè)空間的溫場(chǎng)均勻?！ ?、因?yàn)楹銣睾銤駵y(cè)試儀內(nèi)壁構(gòu)造的不一樣，形成實(shí)驗(yàn)箱內(nèi)壁的溫度也會(huì)不均勻，進(jìn)而影響作業(yè)室內(nèi)的熱對(duì)流，形成內(nèi)部溫度均勻度發(fā)生誤差。
449717568
