電阻真空計(jì)即采用電阻技術(shù)的真空計(jì)，一般先校準(zhǔn)零點(diǎn)，再進(jìn)行滿度校準(zhǔn)。

    原理

    金屬圓筒內(nèi)部設(shè)有一白金細(xì)線,兩端連接電極。

    通過電極給白金細(xì)線提供電流時,白金細(xì)線會發(fā)熱,氣體分子碰撞白金細(xì)線或熱輻射或通過固體熱傳導(dǎo)等方式,白金線的熱量會被奪走。

    單位時間內(nèi)以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態(tài)下時以下公式成立

    Q=I2R=Qg+Qr+Qs(1)

    Q是單位時間細(xì)線放出的熱量,R是細(xì)線的電阻,I是細(xì)線的電流。

    氣體的平均自由行程比細(xì)線的直徑大很多時,Qg通過自由分子的熱傳導(dǎo)被表示為

    Qg=αΛπda(T-T0)p(2)

    如圖所示,T和T0分別為細(xì)線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細(xì)線長度。剩下的Qs和Qr可以分別表示如下

    Qs=Sκ(T-T0)/L(3)

    Qr=πdaσε(T4-T04)(4)

    (3)是電極的熱傳導(dǎo),其中S是細(xì)線的斷面積,κ是固體的傳導(dǎo)率,L是電極的長度。

    (4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數(shù)和固體輻射率。如果保持T和T0一定,則(3)和(4)式為常數(shù)。如果用I02R表示一定量的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射,則式1可以表示為

    I2R=Ap+I02R(5)

    A=αΛπda(T-T0)(6)

    I0是壓力為0的時候細(xì)線的電流,是彌補(bǔ)固體熱傳導(dǎo)和熱輻射而帶來的熱量損失。A式是不依存壓力的定數(shù)如果已知細(xì)線的電阻R,電流I0及定數(shù)A,則可以通過(5)式求得壓力P。

    校準(zhǔn)

    一般先校準(zhǔn)零點(diǎn)，再進(jìn)行滿度校準(zhǔn)。

    (1)校準(zhǔn)零點(diǎn)。

    校準(zhǔn)零點(diǎn)需對被測真空系統(tǒng)抽真空，一旦電離規(guī)測得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9X10^-2Pa)，按"校零"按鈕，對應(yīng)指示燈亮或快速閃爍，真空計(jì)自動校正零點(diǎn)，當(dāng)顯示1.0^-1Pa時，表示規(guī)管零點(diǎn)已校準(zhǔn)。

    對于無自動零點(diǎn)校準(zhǔn)的電阻真空計(jì)，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調(diào)整。

    (2)滿度校正。

    校準(zhǔn)完零點(diǎn)后，需對其滿度校正。按滿度校正過程要求，對被測爐腔放人大氣，確保被校電阻規(guī)所測位置為大氣狀態(tài)，在大氣壓下工作約10分鐘。

    按"滿度"按鈕，對應(yīng)指示燈亮或快速閃爍，真空計(jì)自動校正滿度，當(dāng)顯示1.0^5Pa時，表示規(guī)管滿度已校準(zhǔn)。

    對于無自動滿度校準(zhǔn)的電阻真空計(jì)，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調(diào)整。