X射線熒光光譜儀被廣泛用于冶金、地質(zhì)、礦物、石油、化工、生物、醫(yī)療、刑偵、考古等諸多部門和領(lǐng)域，也是野外現(xiàn)場(chǎng)分析和過程控制分析等方面儀器之一。

　　X射線熒光分析儀在日常使用中的注意事項(xiàng)：　　1、X射線熒光分析儀從根本上來說是一種相對(duì)測(cè)量?jī)x器，因此在使用過程中，需要定期對(duì)儀器進(jìn)行標(biāo)定和校準(zhǔn)?！　?、為保證有害元素含量的控制效果，X射線熒光分析儀的測(cè)量數(shù)據(jù)應(yīng)與其他的測(cè)量手段結(jié)合起來使用；X射線熒光分析儀更適合生產(chǎn)過程的監(jiān)控，甚至可以說：在生產(chǎn)過程中對(duì)有害元素含量的監(jiān)控，X射線熒光分析方法是目前唯一可行的分析手段；而有害元素含量的最終裁定，則不應(yīng)該僅僅依靠單一的測(cè)量手段。　　3、被測(cè)量樣品的處理與測(cè)量精度的關(guān)系：　　從X射線熒光分析理論上說，對(duì)被測(cè)量樣品進(jìn)行必要的處理是必須的；一般來說，樣品處理的越好，則測(cè)量精度就會(huì)越高，測(cè)量結(jié)果越可靠。在實(shí)際使用過程中，我們應(yīng)該盡量對(duì)被測(cè)量樣品進(jìn)行必要的物理處理?！　≡跍y(cè)量不規(guī)則的樣品時(shí)，雖然從X射線熒光分析方法上可以對(duì)測(cè)量進(jìn)行技術(shù)上的校正，從而滿足實(shí)際測(cè)量的需要；但這樣做所付出的代價(jià)是犧牲測(cè)量精度和測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠性。