X射線熒光光譜儀具有重現(xiàn)性好，測量速度快，靈敏度高的特點。能分析B(5)～U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。無標(biāo)半定量方法可以對各種形狀樣品定性分析，并能給出半定量結(jié)果，結(jié)果準(zhǔn)確度對某些樣品可以接近定量水平，分析時間短。薄膜分析軟件FP-MULT1能作鍍層分析，薄膜分析。測量樣品的最大尺寸要求為直徑51mm，高40mm。
X射線熒光光譜儀的基本原理：
X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
用X射線照射試樣時，試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫X射線熒光光譜儀。
X射線熒光光譜儀分為波長色散、能量色散、非色散X熒光、全反射X熒光。
波長色散X射線熒光光譜采用晶體或人工擬晶體根據(jù)Bragg定律將不同能量的譜線分開，然后進(jìn)行測量。波長色散X射線熒光光譜一般采用X射線管作激發(fā)源，可分為順序式(或稱單道式或掃描式)、同時式(或稱多道式)譜儀、和順序式與同時式相結(jié)合的譜儀三種類型。順序式通過掃描方法逐個測量元素，因此測量速度通常比同時式慢，適用于科研及多用途的工作。同時式則適用于相對固定組成，對測量速度要求高和批量試樣分析, 順序式與同時式相結(jié)合的譜儀結(jié)合了兩者的優(yōu)點。
光譜儀又稱分光儀，廣泛為認(rèn)知的為直讀光譜儀。以光電倍增管等光探測器測量譜線不同波長位置強(qiáng)度的裝置。它由一個入射狹縫，一個色散系統(tǒng)，一個成像系統(tǒng)和一個或多個出射狹縫組成。以色散元件將輻射源的電磁輻射分離出所需要的波長或波長區(qū)域，并在選定的波長上（或掃描某一波段）進(jìn)行強(qiáng)度測定。
光譜儀的四大優(yōu)點介紹： 第一、工作性能穩(wěn)定 專業(yè)的光譜儀采用了高集成化的采集與控制系統(tǒng)，自動化程度高，故障率也很低，其工作性能也是極為穩(wěn)定。除此之外，性能穩(wěn)定的光譜儀還采用進(jìn)口的光電倍增管以保證其具有信噪比高、暗電流小和使用壽命長等優(yōu)勢特點?！ 〉诙?、分析速度很快 分析速度快是光譜儀的一大優(yōu)勢特點，這是因為該儀器在測控系統(tǒng)中采用單板機(jī)測量與控制，可以與上位計算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)交換，提高了其運行速度。另外，光譜儀的在分析掃描的過程中，不僅能夠?qū)崿F(xiàn)同時對所有元素進(jìn)行掃描，同時能快速分析出每個元素相對于基體元素的偏差?！ 〉谌?、檢測結(jié)果精確 一流的光譜儀不僅保證了較快的分析速度，同時也保證了高精準(zhǔn)的檢測結(jié)果。這一方面是因為其儀器采用了高穩(wěn)定的激發(fā)光源，以確保較佳的分析效果；一方面是因為其儀器本身還具有分辨率高、重復(fù)性好和靈敏度高等眾多優(yōu)勢的體現(xiàn)，以保證精準(zhǔn)的分析結(jié)果?！ 〉谒?、使用方便，維護(hù)簡單 一般來說，光譜儀的各項系統(tǒng)是獨立供電，組成單元的，因而其使用起來方便，維護(hù)起來也簡單。而且通過專業(yè)配套的計算機(jī)軟件即可在計算機(jī)上對其進(jìn)行操作，非常好用。另外，還可以實現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程的數(shù)據(jù)傳輸。
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