X射線熒光光譜儀由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線），激發(fā)被測樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性?！ 射線熒光光譜儀的優(yōu)點(diǎn)都有那些？ 1.分析速度高。測定用時與測定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素?！ ?.X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長變化用于化學(xué)位的測定?！ ?.非破壞分析。在測定中不會引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測量，結(jié)果重現(xiàn)性好?！ ?.X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析?！ ?.X射線熒光光譜儀分析精密度高?！ ?.制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
有一些人把原子熒光光度計與X射線熒光光譜儀誤認(rèn)為是同一種儀器，其實它們是有區(qū)別的。首先我們分別了解下它們的定義?！ ?、原子熒光光度計是利用硼氫化鉀或硼氫化鈉作為還原劑，將樣品溶液中的待分析元素還原為揮發(fā)性共價氣態(tài)氫化物（或原子蒸汽），然后借助載氣將其導(dǎo)入原子化器，在氬—?dú)浠鹧嬷性踊纬苫鶓B(tài)原子?；鶓B(tài)原子吸收光源的能量而變成激發(fā)態(tài)，激發(fā)態(tài)原子在去活化過程中將吸收的能量以熒光的形式釋放出來，此熒光信號的強(qiáng)弱與樣品中待測元素的含量成線性關(guān)系,因此通過測量熒光強(qiáng)度就可以確定樣品中被測元素的含量?！ ?、X射線熒光光譜儀用Ｘ射線照射試樣時，試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光Ｘ射線，需要把混合的Ｘ射線按波長（或能量）分開，分別測量不同波長（或能量）的Ｘ射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析，為此使用的儀器叫Ｘ射線熒光光譜儀。由于Ｘ光具有一定波長，同時又有一定能量，因此，Ｘ射線熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型和能量色散型?！ ”M管二者都是把物質(zhì)激發(fā)后檢測其熒光，但二者的區(qū)別很大，從大的方面看主要有兩點(diǎn)： 1、激發(fā)光源不同?！ ≡訜晒庥玫墓庠春芏?，如各種激光等，但很少見有用X-射線的；而X-射線熒光則是用X-射線作激發(fā)光源?！ ?、用途不同。 原熒主要用來作定量分析，尤其是金屬元素的定量分析；而X熒主要用來作定性分析和結(jié)構(gòu)分析。當(dāng)然二者的儀器構(gòu)造、使用方法、檢測范圍、樣品制備等等都不一樣。
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