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打造中國“芯”賽默飛離子色譜保障高純半導(dǎo)體級試劑 半導(dǎo)體解決方案

時間:2020-05-18    來源:儀多多儀器網(wǎng)    作者:儀多多商城     
  電子行業(yè)的發(fā)展為現(xiàn)代生活提供了極大的便利,電子芯片更是讓整個世界遠(yuǎn)離了單純依靠人力的時代。掌握了芯片技術(shù),某種程度上講就是掌握了現(xiàn)代IT技術(shù)的基礎(chǔ)。而除了廠房硬件,芯片制造還需要不斷消耗的基礎(chǔ)高純化學(xué)材料。
 
  7月1日日本對韓國進行半導(dǎo)體制造過程核心材料氟化聚酰亞胺、光刻膠、高純度氟化氫等產(chǎn)品的出口管制,把高純化工材料的問題推上了浪尖。賽默飛離子色譜,滿足半導(dǎo)體級別試劑的檢測要求,協(xié)助化工企業(yè)提高標(biāo)準(zhǔn)。
 
  電子級HF
 
  電子級HF應(yīng)用于集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗和腐蝕,是微電子行業(yè)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一。根據(jù)用途的不同,電子級HF主要分為EL、UP、UPS、UPSS等級別,其中UPSS級別是目前zui高純度級別。鋪建完整的UPSS級HF產(chǎn)線,將使企業(yè)處于供應(yīng)鏈頂端,擁有較大的話語權(quán)。
 
  SEMI標(biāo)準(zhǔn)中,zui別HF中一般要求氯化物、硝酸鹽、硫酸鹽和磷酸鹽濃度不高于0.1mg/kg,企業(yè)自定標(biāo)準(zhǔn)中有些已經(jīng)要求達(dá)到0.01mg/kg,基質(zhì)和目標(biāo)物濃度差超過10?:1。這不僅挑戰(zhàn)著產(chǎn)線工藝水平,亦挑戰(zhàn)著分析監(jiān)測水平。
 
  在高HF基體條件下,如何測定痕量的雜質(zhì)陰離子呢?
 
  賽默飛二維離子色譜技術(shù)方案,被納入《GBT 31369-2015太陽電池用電子級HF》中,作為推薦分析監(jiān)測方案。
 
  第yi步 高氟基體的去除
 
  上圖說明了二維離子色譜對電子級HF基體去除的原理。電子級HF中大量的氟離子被吸附在離子排斥柱Dionex IonPac ICE-AS6的Donnan膜上,而其他強酸和中強酸的酸根,則先一步流出離子排斥柱,進入到二維離子分析柱中進行分離和測定。整個過程只用超純水作為流動相,使得電子級HF中的高氟基體得到很好地去除。
 
  第二步 遷移速度快的陰離子進入二維色譜柱進行分離
 
圖1 HF樣品溶液的離子色譜圖
 
  而HF中的氟硅酸,則需在堿性條件下,使其水解并釋放出等摩爾的硅酸鹽。選用柱后衍生-紫外檢測-離子色譜方案,通過對硅酸鹽測定,間接測定氟硅酸的含量,消除了高濃度氟離子基體的干擾,并確保其準(zhǔn)確定量低至µg/kg級水平。對樣品的前處理需求,于稀釋,操作簡單方便。
 
圖2 HF樣品中氟硅酸測定譜圖
 
  半導(dǎo)體制造用水和表面沾污中痕量離子的分析
 
  超純水是為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水,其電阻率接近18.3MΩ*cm極限值(25℃)。
 
  簡單地說就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。我們利用雙閥切換和在線富集,可以很好的測定超純水中的ppt級別的痕量陰離子。
 
圖3 超純水在線濃縮富集測定痕量陰離子
 
  通過淋洗液發(fā)生器配合雙閥切換在線濃縮裝置,淋洗液發(fā)生器產(chǎn)生的KOH經(jīng)過抑制后,產(chǎn)物是水,比碳酸鹽體系具有較低的背景電導(dǎo),所以具有更高的檢測靈敏度;而通過在線富集,可以實現(xiàn)超大體積進樣,得到更低的檢測下限。
 
  電子級硝酸
 
  硝酸具有強氧化性、強腐蝕性和強酸性,是半導(dǎo)體行業(yè)中常用清洗劑和刻蝕劑,試劑中混雜的痕量氯離子會嚴(yán)重影響半導(dǎo)體器件的質(zhì)量。
 
  選用賽默飛高容量陰離子交換色譜柱,只需將樣品進行簡單稀釋后進樣,完成高濃度硝酸基體和常見陰離子雜質(zhì)的分離分析。
 
  配置上,使用2臺Aquion或ICS6000雙系統(tǒng)組成的閥切換系統(tǒng),便可以輕松應(yīng)對電子級試劑的雜質(zhì)分析難題。賽默飛獨特的“只加水”技術(shù),無需配制淋洗液和抑制器再生液,極簡操作;淋洗液電解產(chǎn)生,無空白污染,高重現(xiàn)性,檢出限可達(dá)ppt級別。
 
  賽默飛離子色譜,輕松滿足半導(dǎo)體級別試劑的檢測要求,助力打造中國“芯”!
 
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半導(dǎo)體型測試儀對酒精的檢測

  酒精測試儀是一種能夠檢測氣體中酒精含量的檢測裝置,當(dāng)這一數(shù)值超過0.2mg/ml時,交警就可以判定駕駛者實在違規(guī)駕駛。

  半導(dǎo)體型酒精測試儀采用氧化錫半導(dǎo)體作為傳感器,這類半導(dǎo)體器件具有氣敏特性,當(dāng)接觸的氣體中其敏感的氣體濃度增加;

  它對外呈現(xiàn)的電阻值就降低,半導(dǎo)體型呼氣酒精測試儀就是利用這個原理做成的。

  這種半導(dǎo)體在不同工作溫度時,對不同的氣體敏感程度是不同的;

  因此半導(dǎo)體型呼氣酒精測試儀中都采用加熱元件,把傳感器加熱到一定的溫度,在該溫度下,該傳感器對酒精具有最高的敏感度。

  所以,可以通過鍵盤來設(shè)定不同環(huán)境中酒精濃度的不同閥值。

  如果所檢測到的空氣中的酒精濃度超過了所設(shè)定的閥值,那么單片機將會控制蜂鳴器發(fā)出聲音報警,用來提示危害。

標(biāo)簽: 測試儀
測試儀 半導(dǎo)體型測試儀對酒精的檢測_測試儀

半導(dǎo)體激光器使用注意事項

  半導(dǎo)體激光器是用半導(dǎo)體材料作為工作物質(zhì)的一類激光器,由于物質(zhì)結(jié)構(gòu)上的差異,產(chǎn)生激光的具體過程比較特殊。

  半導(dǎo)體激光器使用注意事項:

  1、激光器工作時,要佩戴合適的防護器具(防護服、手套、防護鏡等),避免激光直射眼睛和皮膚,并注意被照射物體的反射、散射光可能對人造成的傷害。

  2、在使用、貯存、運輸過程中要采取防靜電措施。操作人員、工作臺、烙鐵等一定要接地良好。

  3、必須保證激光器的驅(qū)動電源在開、關(guān)、調(diào)節(jié)、工作等過程中不產(chǎn)生尖峰脈沖、浪涌,并能夠屏蔽電網(wǎng)和空間電磁感應(yīng)引入的浪涌。

  4、應(yīng)在額定電流、額定功率下使用,若超額定電流或功率使用,會加速激光器退化或?qū)е录す馄鞯氖А?/p>

  5、必須在指定的溫度范圍內(nèi)工作,保證良好的散熱或制冷。

  6、需要在規(guī)定的溫、濕度條件下使用、存儲、運輸,并保證環(huán)境的潔凈度。避免各種由于環(huán)境和操作原因?qū)す馄髟斐傻奈廴尽?/p>

  7、光纖輸出的半導(dǎo)體激光器,在使用前必須對光纖連接頭端面進行清潔處理,保證端面無污染;光纖如需彎折,彎曲直徑要大于300倍光纖芯徑,以避免光纖的損壞。

標(biāo)簽: 半導(dǎo)體激光器
半導(dǎo)體激光器 半導(dǎo)體激光器使用注意事項_半導(dǎo)體激光器

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