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壓阻式傳感器的發(fā)展?fàn)顩r和工作原理 傳感器工作原理

時(shí)間:2020-05-26    來源:儀多多儀器網(wǎng)    作者:儀多多商城     

壓阻式傳感器是指利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后,電阻率發(fā)生變化,通過測(cè)量電路就可得到正比于力變化的電信號(hào)輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹?如液位、加速度、重量、應(yīng)變、流量、真空度)的測(cè)量和控制。

 

工作原理

壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測(cè)量傳感元件,擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí),各電阻值將發(fā)生變化,電橋就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。 用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感 材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,尤其是以測(cè)量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用普遍。

發(fā)展?fàn)顩r

1954年C.S.史密斯詳細(xì)研究了硅的壓阻效應(yīng),從此開始用硅制造壓力傳感器。早期的硅壓力傳感器是半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)式的。后來在 N型硅片上定域擴(kuò)散P型雜質(zhì)形成電阻條,并接成電橋,制成芯片。此芯片仍需粘貼在彈性元件上才能敏感壓力的變化。采用這種芯片作為敏感元件的傳感器稱為擴(kuò)散型壓力傳感器。這兩種傳感器都同樣采用粘片結(jié)構(gòu),因而存在滯后和蠕變大、固有頻率低、不適于動(dòng)態(tài)測(cè)量以及難于小型化和集成化、精度不高等缺點(diǎn)。70年代以來制成了周邊固定支撐的電阻和硅膜片的一體化硅杯式擴(kuò)散型壓力傳感器。它不僅克服了粘片結(jié)構(gòu)的固有缺陷,而且能將電阻條、補(bǔ)償電路和信號(hào)調(diào)整電路集成在一塊硅片上,甚至將微型處理器與傳感器集成在一起,制成智能傳感器(見單片微型計(jì)算機(jī))。這種新型傳感器的優(yōu)點(diǎn)是:①頻率響應(yīng)高(例如有的產(chǎn)品固有頻率達(dá)1.5兆赫以上),適于動(dòng)態(tài)測(cè)量;②體積小(例如有的產(chǎn)品外徑可達(dá)0.25毫米),適于微型化;③精度高,可達(dá)0.1~0.01%;④靈敏高,比金屬應(yīng)變計(jì)高出很多倍,有些應(yīng)用場(chǎng)合可不加放大器;⑤無活動(dòng)部件,可靠性高,能工作于振動(dòng)、沖擊、腐蝕、強(qiáng)干擾等惡劣環(huán)境。其缺點(diǎn)是溫度影響較大(有時(shí)需進(jìn)行溫度補(bǔ)償)、工藝較復(fù)雜和造價(jià)高等。

應(yīng)用

壓阻式傳感器廣泛地應(yīng)用于航天、航空、航海、石油化工、動(dòng)力機(jī)械、生物醫(yī)學(xué)工程、氣象、地質(zhì)、地震測(cè)量等各個(gè)領(lǐng)域。在航天和航空工業(yè)中壓力是一個(gè)關(guān)鍵參數(shù),對(duì)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)壓力,局部壓力和整個(gè)壓力場(chǎng)的測(cè)量都要求很高的精度。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如,用于測(cè)量直升飛機(jī)機(jī)翼的氣流壓力分布,測(cè)試發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣口的動(dòng)態(tài)畸變、葉柵的脈動(dòng)壓力和機(jī)翼的抖動(dòng)等。在飛機(jī)噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)中心壓力的測(cè)量中,使用專門設(shè)計(jì)的硅壓力傳感器,其工作溫度達(dá)500℃以上。在波音客機(jī)的大氣數(shù)據(jù)測(cè)量系統(tǒng)中采用了精度高達(dá)0.05%的配套硅壓力傳感器。在尺寸縮小的風(fēng)洞模型試驗(yàn)中,壓阻式傳感器能密集安裝在風(fēng)洞進(jìn)口處和發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣管道模型中。單個(gè)傳感器直徑僅2.36毫米,固有頻率高達(dá)300千赫,非線性和滯后均為全量程的±0.22%。在生物醫(yī)學(xué)方面,壓阻式傳感器也是理想的檢測(cè)工具。已制成擴(kuò)散硅膜薄到10微米,外徑僅0.5毫米的注射針型壓阻式壓力傳感器和能測(cè)量心血管、顱內(nèi)、尿道、子宮和眼球內(nèi)壓力的傳感器。圖3是一種用于測(cè)量腦壓的傳感器的結(jié)構(gòu)圖。壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測(cè)量、真空測(cè)量、監(jiān)測(cè)和控制汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的性能以及諸如測(cè)量發(fā)射沖擊波等兵器方面的測(cè)量。此外,在油井壓力測(cè)量、隨鉆測(cè)向和測(cè)位地下密封電纜故障點(diǎn)的檢測(cè)以及流量和液位測(cè)量等方面都廣泛應(yīng)用壓阻式傳感器。隨著微電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)的進(jìn)一步發(fā)展,壓阻式傳感器的應(yīng)用還將迅速發(fā)展。


壓力傳感器的正確安裝

    壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中較為常用的一種傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè),下面就簡(jiǎn)單介紹一些壓力傳感器正確安裝方法。

    壓力傳感器正確安裝問題:

    通常高溫熔體壓力傳感器的損壞都是由于其安裝位置不恰當(dāng)而引起的,如果將傳感器強(qiáng)行安裝在過小的孔或形狀不規(guī)則的孔中,就有可能造成傳感器的震動(dòng)膜受到?jīng)_擊而損壞,選擇合適的工具加工安裝孔,有利于控制安裝孔的尺寸;

    另外,合適的安裝扭矩有利于形成良好的密封,但是如果安裝扭矩過高就容易引起高溫熔體壓力傳感器的滑脫,為防止這種現(xiàn)象發(fā)生,通常在傳感器安裝之前在其螺紋部分上涂抹防脫化合物。

 

    1.壓力傳感器正確安裝方法:

    (1)通過適當(dāng)?shù)膬x表,在普通大氣壓和標(biāo)準(zhǔn)溫度條件下,核實(shí)壓力傳感器的頻率反應(yīng)值。

    (2)核實(shí)壓力傳感器的編碼與相應(yīng)的頻率反應(yīng)信號(hào)的正確性。

    2.確定具體安裝位置

    為了確定壓力傳感器的編號(hào)和具體安裝位置,需按充氣網(wǎng)的各個(gè)充氣段來考慮。

    (1)壓力傳感器必須沿著線纜進(jìn)行安裝,好安裝在線纜接頭處。

    (2)每條線纜裝設(shè)壓力傳感器不少于4個(gè),靠近電話局的兩個(gè)壓力傳感器,相距不應(yīng)大干200m。

    (3)每條線纜的始端和末端分別安裝1個(gè)。

    (4)每條線纜的分支點(diǎn)應(yīng)裝1個(gè),如果兩個(gè)分支點(diǎn)相距較近(小于100m),可只裝1個(gè)。

    (5)線纜敷設(shè)方式(架空、地下)改變處應(yīng)裝1個(gè)

    (6)對(duì)無分支的線纜,因壘線的線纜程式一致,壓力傳感器的安裝隔距不大干500m,并使其總數(shù)不少于4個(gè)。

    (7)為了便于確定壓力傳感器故障點(diǎn),除在起點(diǎn)安裝壓力傳感器外,距起點(diǎn)150~200m處,還要另外安裝1個(gè)當(dāng)然在設(shè)計(jì)中,一定要考慮經(jīng)濟(jì)與技術(shù)的因素,在不需要安裝壓力傳感器的地方,則應(yīng)不必安裝。

    檢查尺寸

    如果安裝孔的尺寸不合適,高溫熔體壓力傳感器在安裝過程中,其螺紋部分就很容易受到磨損,這不僅會(huì)影響設(shè)備的密封性能,而且使傳感器不能充分發(fā)揮作用,甚至還可能產(chǎn)生安全隱患。只有合適的安裝孔才能夠避免螺紋的磨損(螺紋工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1/2-20UNF2B),通常可以采用安裝孔測(cè)量?jī)x對(duì)安裝孔進(jìn)行檢測(cè),以做出適當(dāng)?shù)恼{(diào)整。

    傳感器選擇

    壓力式光纖液位傳感器是一種很有發(fā)展?jié)摿Φ墓饫w液位傳感器。光纖傳感器本身不與被測(cè)液體直接接觸,不怕污染,與被測(cè)液體的光學(xué)性能、粘滯性、毒性都沒有直接關(guān)系,且能夠在易爆的環(huán)境下使用。

    只要能設(shè)計(jì)出結(jié)構(gòu)小、動(dòng)態(tài)范圍大、精度高的壓力敏感單元,就可以獲得性能優(yōu)良的光纖液位傳感器。

    目前,根據(jù)光纖的工作參量的不同,壓力式光纖液位傳感器的研究集中在強(qiáng)度調(diào)制型的光纖微彎液位傳感器,相位調(diào)制型的光纖法布里一珀羅腔液位傳感器和波長(zhǎng)調(diào)制型的光纖光柵液位傳感器。本文以基于微彎損耗的原理對(duì)光纖液位傳感器進(jìn)行研究和設(shè)計(jì)。

    在光纖通信與傳感中,應(yīng)用較多的是固體激光器、氣體激光器和半導(dǎo)體發(fā)光器件。隨著半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展,半導(dǎo)體光源得到越來越廣泛的應(yīng)用。半導(dǎo)體光源可以分為半導(dǎo)體發(fā)光二極管((LED)和半導(dǎo)體激光器(LD)。

    壓力傳感器工作原理:

    1、壓阻式壓力傳感器

    電阻應(yīng)變片是壓阻式應(yīng)變傳感器的主要組成部分之一。

    金屬電阻應(yīng)變片的工作原理是吸附在基體材料上應(yīng)變電阻隨機(jī)械形變而產(chǎn)生阻值變化的現(xiàn)象,俗稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)。

    2、陶瓷壓力傳感器

    陶瓷壓力傳感器基于壓阻效應(yīng),壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個(gè)惠斯通電橋,由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性、與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號(hào),標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0/3.0/3.3mV/V等,可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。

    3、擴(kuò)散硅壓力傳感器:

    擴(kuò)散硅壓力傳感器工作原理也是基于壓阻效應(yīng),利用壓阻效應(yīng)原理,被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發(fā)生變化,利用電子線路檢測(cè)這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。

    4、藍(lán)寶石壓力傳感器:

    利用應(yīng)變電阻式工作原理,采用硅-藍(lán)寶石作為半導(dǎo)體敏感元件,具有無與倫比的計(jì)量特性。

    因此,利用硅-藍(lán)寶石制造的半導(dǎo)體敏感元件,對(duì)溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍(lán)寶石的抗輻射特性極強(qiáng);另外,硅-藍(lán)寶石半導(dǎo)體敏感元件,無p-n漂移。

    5、壓電式壓力傳感器:

    壓電效應(yīng)是壓電傳感器的主要工作原理,壓電傳感器不能用于靜態(tài)測(cè)量,因?yàn)榻?jīng)過外力作用后的電荷,只有在回路具有無限大的輸入阻抗時(shí)才得到保存。

    實(shí)際的情況不是這樣的,所以這決定了壓電傳感器只能夠測(cè)量動(dòng)態(tài)的應(yīng)力。

標(biāo)簽: 壓力傳感器
壓力傳感器 壓力傳感器的正確安裝_壓力傳感器

電磁流量傳感器的安裝

    電磁流量傳感器外殼防護(hù)等級(jí)一般是IP65(國(guó)際GB4208外殼防護(hù)等級(jí)——防塵防碰水級(jí));

    其安裝場(chǎng)所的選擇請(qǐng)安裝環(huán)境的主要要求是:

    (1)傳感器應(yīng)安裝在干燥通風(fēng)的地方,避免潮濕、容易積水受淹的場(chǎng)所,還應(yīng)盡量避免陽光直射和雨水直接淋澆。

    (2)應(yīng)盡可能避免安裝在周圍環(huán)境溫度過高的地方。一體型結(jié)構(gòu)的電磁流量計(jì)還受制于電子元器件環(huán)境溫度,要低些。

    (3)安裝傳感器的管道上應(yīng)無較強(qiáng)的漏電流,應(yīng)盡可能地遠(yuǎn)離有強(qiáng)電磁場(chǎng)的設(shè)備,如大機(jī)電、大變壓器等,以免引起電磁場(chǎng)干擾;

    (4)安裝傳感器的管道或地面不應(yīng)有強(qiáng)烈的震動(dòng),特別是一體型儀表;

    (5)安裝傳感器的地點(diǎn)要考慮工作人員現(xiàn)場(chǎng)維修的空間。

    磷酸流量計(jì)轉(zhuǎn)換器安裝環(huán)境的選擇

    轉(zhuǎn)換器作為現(xiàn)場(chǎng)指示用的現(xiàn)場(chǎng)安裝儀表,它的安裝場(chǎng)所一般應(yīng)選擇:

    周圍環(huán)境溫度在-10~45℃間;

    空氣的相對(duì)濕度≤85%;

    安裝地點(diǎn)無強(qiáng)烈震動(dòng);

    周圍空氣不含有腐蝕性氣體;

    轉(zhuǎn)換器應(yīng)盡量安裝在室內(nèi)。安裝在室外時(shí),還應(yīng)采取防日曬雨淋的措施。

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電磁流量傳感器 電磁流量傳感器的安裝_電磁流量傳感器

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