原子蒸汽吸收具有特征波長的光源輻射后被激發(fā)躍遷到高能態(tài)，然后去激發(fā)躍遷到某一較低能態(tài)（常常是基態(tài)）而發(fā)射出特征波長的原子熒光。利用測量熒光強度繼而獲得樣品中待測元素含量的方法，稱之為原子熒光光譜法（AFS）。
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? 1970年國外開始了多道原子熒光火焰分光計的研制工作。研制的儀器包括脈沖空心陰極燈，一個旋轉(zhuǎn)的干涉濾光片圓盤，一個卡塞格倫反射系統(tǒng)，一個火焰槽以及用于測量每個金屬元素?zé)晒獾倪壿嬰娐罚梢酝瑫r測定6個元素。1981年，美國人首次將空心陰極燈作為原子熒光激發(fā)光源與ICP原子化系統(tǒng)相結(jié)合，研制出了世界上第一臺HLC-ICP-AFS商品儀器。這種裝置具有多元素同時分析的能力，且譜線簡單，線性范圍寬。
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?70年代末，我國許多科技工作者也先后開始原子熒光光譜法的研究并作出了貢獻(xiàn)。1976年杜文虎等研制成功了冷原子熒光測汞儀，測定了糧食、土壤、礦物、巖石中的痕量汞；1977年上海冶金研究所研制了高強度空心陰極燈作激發(fā)光源的雙道無色散原子熒光光度計，測定鋁合金、銅合金、鋅合金、球墨鑄鐵和合金鋼中的錳、鋅和鎘等元素。1979年郭小偉等研制成功溴化物無極放電燈作激發(fā)光源的氫化物無色散原子熒光光譜儀，測定了礦物和巖石中微量砷、銻和鉍等元素；在此基礎(chǔ)上，1981年郭小偉、張錦茂等合作開發(fā)了雙道氫化物原子熒光光譜儀、該儀器可同時測定兩個可形成氫化物的元素。1988年北京地質(zhì)儀器廠、西北有色地質(zhì)研究所和地礦部物化探研究所共同開發(fā)了以特征空心陰極燈為激發(fā)光源，由微機控制儀器功能和數(shù)據(jù)處理的雙道氫化物-原子熒光分析儀，利用專用的氣汞測定裝置，獲得了低至0.0078ng汞的檢出限。
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?氫化物原子熒光光譜法是一種新的聯(lián)用分析技術(shù)。它集中了兩種方法的優(yōu)點：利用氫化物發(fā)生技術(shù)，使待測元素與絕大多數(shù)的基體元素分離，生成的氫化物可以在氬氫火焰中原子化，而氬氫火焰本身有很高的熒光效率和較低的背景；所有氫化物元素和汞的熒光波長都位于紫外區(qū)；這些因素的結(jié)合使得可制成結(jié)構(gòu)簡單的無色散原子熒光分析儀，獲得砷、銻、鉍、硒、碲、鉛、錫、鍺和汞的較低的檢出限。方法的特點是靈敏度高、重現(xiàn)性好、光譜干擾少、線性范圍寬、分析速度快和成本低。
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十余年來我國發(fā)展起來的氫化物原子熒光分析技術(shù)具有自己的特色。且由科研成果迅速轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力，國內(nèi)多家工廠相繼生產(chǎn)了各種型號的氫化物原子熒光光譜儀。在廣大分析工作者的努力下，HG-AFS已在各個領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。目前我國在HG-AFS中采用的主要光源是微波激發(fā)的無級放電燈和脈沖供電的特種空心陰極燈。據(jù)不完全統(tǒng)計，總產(chǎn)量已突破上千余臺，并已出口到加拿大、伊朗等國。HG-AFS已成為各種分析技術(shù)中互相補充不可缺少的重要分析手段，是眾多實驗室必備儀器。