體視顯微鏡的照明裝置大致分為透射照明裝置和落射照明裝置。

透射照明裝置又可分為普通透射照明、夾縫透射照明和投射斜照明。透射照明一般用于觀察透明的標本，比如卵細胞，胚胎發(fā)育等等。照射時，光從下往上透過樣品，體視顯微鏡光源一般采用冷光源照明。一般高檔的透射底座都是冷光源(通過光纖傳導光，燈泡發(fā)的熱量不會傳導到樣本上，所以叫冷光源)。這種照明底座能夠提供明亮有效的照明，對比度可進行連續(xù)調(diào)節(jié)，具備具備有可調(diào)節(jié)的細長狹縫，能增加各種樣品的對比度，可通過內(nèi)置濾色片滑板調(diào)節(jié)亮度和色溫。低檔的體視顯微鏡一般不用冷光源，而是在底座上直接安裝一個鹵素燈。這樣的光源可以使照明底座發(fā)熱，長期工作，會有燙手的感覺。落射照明裝置主要有落射光纖照明、環(huán)形光照明和同軸落射照明。落射照明一般用于不透明的標本，如礦石、昆蟲和電路板等。光纖落射照明裝置的特點是安裝簡單靈活，可以任意調(diào)節(jié)照明的角度，特別是雙光纖照明?？梢哉彰骼ハx、礦石等樣品。但是這種照明始終存在死角，而且因為是斜照明，可能會存在陰影等缺點；環(huán)形光照明是在物鏡上面直接安裝一個環(huán)形的燈光(熒光燈光，或者LED)這樣就可以垂直照射樣品，解決了斜照明不能垂直照明的問題。但是環(huán)形光照明也存在一個問題就是對于中心的照明不夠明亮，整個視野照明不夠均勻，所以有同軸落射照明的推出；同軸落射光照明裝置是在顯微鏡的內(nèi)部加裝照明光路，照明光經(jīng)過物鏡來照明這個樣本，這樣可實現(xiàn)超大視野的攝像范圍，且亮度平均、畫面清晰。在對晶圓片、液晶等圓形的辨認或者瑕疵檢查、以及對校裝置、各種尺寸芯片的測量，F(xiàn)A裝置的自動化的檢查上表現(xiàn)卓越.