美國光動(dòng)激光干涉儀校準(zhǔn)步驟：先近后遠(yuǎn)，近調(diào)上下左右，遠(yuǎn)調(diào)俯仰扭擺。
1、架設(shè)好激光頭后，先將激光頭的左右、俯仰、扭擺居中，再將美國光動(dòng)激光干涉儀激光頭調(diào)至水平，在激光頭上安裝好標(biāo)準(zhǔn)光閘。
2、將線性干涉鏡和測量反射鏡置于較近位置，調(diào)節(jié)美國光動(dòng)激光干涉儀干涉鏡與反射鏡之間的相對位置，使反射回來的兩束光線完全重合，調(diào)節(jié)三角架使重合后的反射光線進(jìn)入回光孔，保證五個(gè)光強(qiáng)指示燈全亮。此處請勿大范圍調(diào)節(jié)美國光動(dòng)激光干涉儀激光頭上的俯仰和扭擺旋鈕，僅限微調(diào)。
3、將線性干涉鏡與測量反射鏡距離最遠(yuǎn)，根據(jù)近、遠(yuǎn)端光線照射的位置，可判斷出激光頭發(fā)出光線的傾斜方向，扭擺三角架使激光頭向傾斜方向的相反方向扭擺，再平移三角架使激光大致照射在干涉鏡正中偏上1/2處。查看光閘，若無兩束光線返回，則繼續(xù)扭擺和移動(dòng)三角架，直至兩光點(diǎn)出現(xiàn)，并使兩光點(diǎn)相距較近。
4、微調(diào)俯仰、扭擺，使兩束反射光線完全重合。
5、通過升降三角架和調(diào)節(jié)美國光動(dòng)激光干涉儀激光頭的左右位置，使重合后的反射光束射入回光孔。
6、查看五個(gè)光強(qiáng)指示燈是否全亮，若無，請重復(fù)步驟2~5，直至近、遠(yuǎn)兩端位置，五個(gè)光強(qiáng)指示燈全亮。
7、美國光動(dòng)激光干涉儀安放補(bǔ)償元件，進(jìn)行線性測量。
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美國光動(dòng)激光干涉儀校準(zhǔn)步驟：先近后遠(yuǎn)，近調(diào)上下左右，遠(yuǎn)調(diào)俯仰扭擺。
1、架設(shè)好激光頭后，先將激光頭的左右、俯仰、扭擺居中，再將美國光動(dòng)激光干涉儀激光頭調(diào)至水平，在激光頭上安裝好標(biāo)準(zhǔn)光閘。
2、將線性干涉鏡和測量反射鏡置于較近位置，調(diào)節(jié)美國光動(dòng)激光干涉儀干涉鏡與反射鏡之間的相對位置，使反射回來的兩束光線完全重合，調(diào)節(jié)三角架使重合后的反射光線進(jìn)入回光孔，保證五個(gè)光強(qiáng)指示燈全亮。此處請勿大范圍調(diào)節(jié)美國光動(dòng)激光干涉儀激光頭上的俯仰和扭擺旋鈕，僅限微調(diào)。
3、將線性干涉鏡與測量反射鏡距離最遠(yuǎn)，根據(jù)近、遠(yuǎn)端光線照射的位置，可判斷出激光頭發(fā)出光線的傾斜方向，扭擺三角架使激光頭向傾斜方向的相反方向扭擺，再平移三角架使激光大致照射在干涉鏡正中偏上1/2處。查看光閘，若無兩束光線返回，則繼續(xù)扭擺和移動(dòng)三角架，直至兩光點(diǎn)出現(xiàn)，并使兩光點(diǎn)相距較近。
4、微調(diào)俯仰、扭擺，使兩束反射光線完全重合。
5、通過升降三角架和調(diào)節(jié)美國光動(dòng)激光干涉儀激光頭的左右位置，使重合后的反射光束射入回光孔。
6、查看五個(gè)光強(qiáng)指示燈是否全亮，若無，請重復(fù)步驟2~5，直至近、遠(yuǎn)兩端位置，五個(gè)光強(qiáng)指示燈全亮。
7、美國光動(dòng)激光干涉儀安放補(bǔ)償元件，進(jìn)行線性測量。
高精度激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
該儀器的基本操作：
1、開機(jī)：接通電源打開電源開關(guān)，1分鐘后開始檢測；
2、光路調(diào)整：旋上適合的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭使標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)對準(zhǔn)尋星窗口中間的黑點(diǎn)，顯示器上顯示完整的圓形圖像；
3、透鏡面形檢測：調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸，放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點(diǎn)重合，觀測顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋，條紋越少精度越高；
4、透鏡曲率半徑檢測：開啟標(biāo)尺電源開關(guān)（清零），調(diào)整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條），凸透鏡向上調(diào)節(jié)高度（凹透鏡向下調(diào)節(jié)高度）到第2個(gè)星點(diǎn)出現(xiàn)的時(shí)候調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)鏡頭調(diào)節(jié)旋鈕，使圖像出現(xiàn)貓眼像，標(biāo)尺移動(dòng)的數(shù)值就為被測透鏡的曲率半徑。
應(yīng)用
（1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。
（2）位置精度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償 可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動(dòng)測量機(jī)器的誤差，而且還能通過RS232接口自動(dòng)對其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償，比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間，并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時(shí)可最大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù)，使機(jī)床達(dá)到較佳精度，另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。
（3）數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償 現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測量，其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時(shí)間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線，知曉其精度的每一細(xì)節(jié)，并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。
（4）雙軸定位精度的檢測及其自動(dòng)補(bǔ)償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床，由雙伺服驅(qū)動(dòng)某一軸向運(yùn)動(dòng)的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動(dòng)對兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償。
（5）數(shù)控機(jī)床動(dòng)態(tài)性能檢測 利用RENISHAW動(dòng)態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動(dòng)態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性（低速爬行）分析等。
激光干涉儀為機(jī)床檢定提供了一種高精度儀器，它精度高，達(dá)到±1.1PPM（在0～40℃下），測量范圍大（線性測長40m，任選80m），測量速度快（60m/min），分辨率高（0.001μm），便攜性好。由于激光干涉儀具有自動(dòng)線性誤差補(bǔ)償功能，可方便恢復(fù)機(jī)床精度，更受到用戶歡迎！
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