熱式氣體質(zhì)量流量計是用于測量和控制氣體質(zhì)量流量的儀表，區(qū)別于其它氣體流量計，不需要進行壓力和溫度修正，直接測量氣體的質(zhì)量流量。

    一、應(yīng)用領(lǐng)域：

    1、半導(dǎo)體制造行業(yè)；

    2、分析儀器設(shè)備行業(yè)；

    3、各種形式的真空鍍膜設(shè)備；

    4、環(huán)境檢測與分析設(shè)備；

    5、化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)；

    6、特種材料表面處理裝置與燃燒；

    7、混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

    二、選型注意事項：

    1.通過的介質(zhì)。

    熱式氣體流量計適用于各種氣體，包括特殊氣體和腐蝕性氣體。以腐蝕性氣體為例：腐蝕性氣體通過流量計的時候如果流量計沒有經(jīng)過特殊處理過，會因為腐蝕性氣體的特性，造成密封元件等方面的故障，從而影響到了流量計的正常使用，因此相關(guān)特性的介質(zhì)在選型的時候需特別關(guān)注密封材料等信息，如全金屬密封，耐氨橡膠等密封材質(zhì)。另外像氫氣、甲烷等可燃性氣體需注意氣體濃度過高所造成的爆點問題等等。

    2.量程范圍（或者稱之為流量范圍）。

    在流量計選型的時候，首先要確定所需流量計的量程問題，以HORIBAMETRON（堀場匯博?。┕井a(chǎn)品為例：公司產(chǎn)品以氮氣（N2）來標(biāo)定,如用其他氣體時需要進行換算，非氮氣介質(zhì)時是以氮氣與該氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)來換算以確定標(biāo)定流量。

    3.壓力范圍。HORIBAMETRON流量計耐壓范圍是3MPa,壓差范圍為（0.05-0.3）MPa。3MPa以內(nèi)無需任何補償可直接安裝使用；需注意的是有些行業(yè)需要在高壓狀態(tài)下工作，要明確壓力范圍是否滿足。

    4.接口通徑。

    選擇接口時需針對管路狀況進行選擇，就目前而言以Ф3mm～Ф10mm,1/4″Swagelok(或VCR)，軟管接頭Ф4mm～Ф10mm等為主。

    5.供電電壓和控制。

    以HORIBAMETRON流量計而言，供電電壓有±15V和24V兩種?？刂平涌谟?針和15針的，也有9孔和15孔的。

    6.通信協(xié)議。

    相對于數(shù)字式流量計而言很多時候都會涉及到通信協(xié)議問題，以MODBUS、Profibus、DeviceNet為標(biāo)準(zhǔn)，在選擇時注意協(xié)議類型。備注（某些行業(yè)在選擇流量計時模擬控制就可滿足要求）需注意。

    7.其他相關(guān)問題請詳細咨詢廠家相關(guān)技術(shù)人員。

    熱式氣體質(zhì)量流量計雖然有很多的優(yōu)勢，但也有缺點；

    比如：只能測量干燥的氣體，如果氣體內(nèi)含有較大水汽，示值將偏大，初步的判斷標(biāo)準(zhǔn)是管道內(nèi)不會形成凝結(jié)水的氣體均可以測量；

    氣體組分變化頻繁且測量精度要求高的氣體不適合測量；氣體內(nèi)粉塵含量較高且測量精度要求高的氣體不適合測量。

    熱式氣體質(zhì)量流量計的特點

    （1）熱分布式質(zhì)量流量計的主要特點：直接測量質(zhì)量流量無需溫壓補償；

    非接觸式，無活動部件，無阻流件，壓力損失小，可靠性高；可測量低流速微小氣體流量，最低5mL/min（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)）；

    要求氣體介質(zhì)干燥潔凈，不含水分、油等雜志；

    分流型可獲線性特性，可用于測量大、中氣壓流量，使用時要保證分流溫度；動態(tài)響應(yīng)慢，時間常數(shù)5s左右。

    （2）浸入式熱式質(zhì)量流量計的主要特點：直接測量質(zhì)量流量無需溫壓補償；無活動部件，可靠性高；

    適用于大口徑、非圓截面管道、現(xiàn)場空間狹窄處測量（插入式）；

    檢測作為帶不銹鋼外殼的鉑電阻傳感器，對于其他中的粉塵、固體顆粒、油分、水分不敏感。

    插入式可以不斷流取出維修更換。可用于測量臟污流體測量。

    2、熱式氣體質(zhì)量流量計的選用

    （1）針對小、微量氣體流量，熱分布式質(zhì)量流量計可用于單一組分氣體或固定比例的混合氣體測量。

    （2）大口徑流量測量中可選用插入式浸入式熱式質(zhì)量流量計。

    3、熱式氣體質(zhì)量流量計安裝使用注意事項

    （1）安裝姿勢方面，大部分熱式分布式的質(zhì)量流量計可任何姿勢（水平、垂直或傾斜）安裝；

    只要在安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點調(diào)整；

    但是有些儀表則對安裝姿勢敏感。

    大部分浸入式熱式質(zhì)量流量計性能不受安裝姿勢影響，但是在低流速時要嚴(yán)格按說明書進行。

    （2）前直管段方面，熱分布式不敏感，而帶測量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長度前直管段，按制造廠建議安裝。

    （3）連接熱式質(zhì)量流量計的管道在常見范圍內(nèi)的振動不會產(chǎn)生振動干擾；

    而插入式熱式質(zhì)量流量計的檢測桿必須固定于管道并避開振動場所。

    （4）熱式質(zhì)量流量計響應(yīng)時間長，不適用于脈動流

    第一步：地址碼設(shè)置
    按下流量計的調(diào)位按鈕3秒鐘，即時流量窗口出現(xiàn)‘Ad01’（‘Ad01’表示流量計與計算機通訊的地址碼，可從01設(shè)置到最大99），并且‘0’在閃動，若‘0’位地址碼需要變更時，按調(diào)數(shù)按鈕設(shè)置所需要的數(shù)值，若不需變更，再按一次調(diào)位按鈕跳位，然后根據(jù)需要按調(diào)數(shù)按鈕變換數(shù)值，設(shè)置完畢后按一下調(diào)位按鈕，上限指示燈亮，表明地址碼設(shè)置完畢。
    第二步：即時流量上限設(shè)置
    上限指示燈亮?xí)r，千位‘0’在閃動，開始設(shè)置即時流量上限的參數(shù)，若需要變更千位，可按調(diào)數(shù)按鈕變換數(shù)值，若不需要變更，再按一下調(diào)位按鈕跳位（百位、十位、個位以此為推）四位數(shù)值逐一設(shè)置完畢后，按下調(diào)位按鈕，下限指示燈亮，表明即時流量上限設(shè)置完畢。
    第三步：即時流量下限設(shè)置
    下限指示燈亮?xí)r，千位‘0’在閃動，開始設(shè)置即時流量下限的參數(shù)，其操作同上，最后再按一下調(diào)位按鈕，上限指示燈亮，表明即時流量下限設(shè)置完畢。
    第四步：壓力上限設(shè)置
    上限指示燈亮，千位‘0’閃動，開始設(shè)置壓力上限的參數(shù)，操作同上，最后再按一下調(diào)位按鈕，下限指示燈亮，表明壓力上限設(shè)置完畢；
    第五步：壓力下限設(shè)置
    下限的指示燈亮，千位‘0’閃動，開始設(shè)置壓力下限的參數(shù)，操作同上，最后按一下調(diào)位按鈕，壓力下限設(shè)置完畢。
    第六步：此時設(shè)置的即時流量上限、壓力上限同時閃動，再按一下調(diào)位按鈕，即時流量下限、壓力下限同時閃動，再按一下調(diào)位按鈕，即時流量顯示地址碼、累計流量顯示bAUd9600、壓力顯示0000。至此流量計參數(shù)設(shè)置完畢。若需改變設(shè)置，操作同上。