濕度傳感器的種類很多,沒有統(tǒng)一分類標(biāo)準(zhǔn)。
按探測(cè)功能來(lái)分,可分為絕對(duì)濕度型、相對(duì)濕度型和結(jié)露型,期中絕對(duì)濕度型為數(shù)甚少;
按傳感器的輸出信號(hào)來(lái)分,可分為電阻型、電容型、電抗型和頻率型等,期中電阻型較多;
按濕敏元件工作機(jī)理來(lái)分,可分為親合力型和非水分子親合力型兩大類,其中水分子親合力型應(yīng)用更廣泛;按材料來(lái)分,可分為陶瓷型。
有機(jī)高分子型,半導(dǎo)體型和電解質(zhì)型等。
利用陶瓷濕度敏感材料制成的濕度傳感器稱為陶瓷濕度傳感器。
陶瓷濕度敏感材料主要是利用陶瓷燒結(jié)制備時(shí)形成的多孔結(jié)構(gòu),吸附或凝聚水分子作用導(dǎo)電通路,從而改變陶瓷本身的電導(dǎo)率或電容量。
利用多孔結(jié)構(gòu)的陶瓷的電導(dǎo)率或電容量隨外界濕度變化的特點(diǎn),可以制成濕度傳感器。
陶瓷濕度敏感材料按其結(jié)構(gòu)可以分為尖晶石型、金紅石型、鈣鈦礦型等;
按其感濕特性大體可以分為電阻型、電容型和阻抗型等;
按其工藝特點(diǎn)可以分為燒結(jié)型、厚膜型、薄膜型和MOS型等。
陶瓷濕度傳感器的產(chǎn)品有MgCr2O4-TiO2(鉻酸鎂-二氧化鈦系)、ZnO-Cr203(氧化鋅一三氧化二鉻)系、ZrO2系、AL2O3系、TiO2-V2O5(二氧化鈦)系、Fe3O4系。
它們的感溫特征量大多數(shù)為電阻,除Fe3O4系外,都為負(fù)特牲濕敏傳感器,即隨著環(huán)境濕度的增加電阻值降低。
陶瓷濕度管感器有很多優(yōu)點(diǎn),例如,測(cè)濕范圍寬,基本上可實(shí)現(xiàn)全濕范圍內(nèi)的濕度測(cè)量;
工作溫度高,常溫濕度傳感器的工作溫度在150度以下,而高溫濕度傳感器的工作溫度可達(dá)到800度;
響應(yīng)時(shí)間短,多孔陶瓷的表面積大,易于吸濕和脫濕;
濕滯小、抗沾污、可高溫清洗;靈敏度高、穩(wěn)定性好。
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壓力傳感器生產(chǎn)完成的時(shí)候都需要對(duì)其技術(shù)性能進(jìn)行全面檢定,以保證測(cè)量值的準(zhǔn)確傳遞?;蛘咴?span title="壓力傳感器" target="_blank">壓力傳感器經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的使用、或者存儲(chǔ)、使用或修理后,也需要再次進(jìn)行技術(shù)性能的鑒定,以確保壓力傳感器在正常使用的時(shí)候是一個(gè)性能指標(biāo)合格的產(chǎn)品。
壓力傳感器的標(biāo)定指的是:在輸入和輸出的對(duì)應(yīng)關(guān)系的前提下,利用某種標(biāo)準(zhǔn)器具對(duì)壓力傳感器進(jìn)行檢定。經(jīng)過(guò)使用、存儲(chǔ)、修理后的壓力傳感器進(jìn)行的性能復(fù)檢稱之為校準(zhǔn)。標(biāo)定與校準(zhǔn)在本質(zhì)上是一樣的。
標(biāo)定的基本過(guò)程就是將一直的測(cè)量值輸入給需要標(biāo)定的壓力傳感器,同時(shí)得到壓力傳感器的輸出量,然后將所獲得的壓力傳感器輸入量和輸出量進(jìn)行處理和比較,從而得到兩者對(duì)應(yīng)關(guān)系的曲線,進(jìn)而得到壓力傳感器性能標(biāo)定的實(shí)測(cè)結(jié)果。
壓力傳感器的標(biāo)定系統(tǒng)通常由標(biāo)推發(fā)生器、標(biāo)定測(cè)試系統(tǒng),以及待標(biāo)定壓力傳感器所配接的信號(hào)調(diào)節(jié)器和顯示器、記錄器等組成。對(duì)壓力傳感器進(jìn)行標(biāo)定,是根據(jù)試驗(yàn)數(shù)據(jù)確定傳感器的各項(xiàng)性能指標(biāo),最關(guān)鍵是確定壓力傳感器的測(cè)量精度。所以在標(biāo)定壓力傳感器時(shí),所用測(cè)量設(shè)備的精度必須要比待標(biāo)定的傳感器的精度高一個(gè)數(shù)量級(jí),這樣才能確定壓力傳感器的指標(biāo)才是可靠的。