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如何選取激光功率計(jì)和能量計(jì) 功率計(jì)技術(shù)指標(biāo)

時(shí)間:2020-07-30    來源:儀多多儀器網(wǎng)    作者:儀多多商城     
激光功率和能量計(jì)主要用來測量光源的輸出。無論光發(fā)射是來源于弱光源(如熒光),還是來源于高能量的脈沖激光器,功率和能量計(jì)都是實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)部門或是工作現(xiàn)場等多種應(yīng)用環(huán)境中必不可少的工具。

雖然功率計(jì)和能量計(jì)是分別提供的,但隨著能夠適用大量不同類型的光學(xué)傳感器的通用型儀表盤或顯示裝置的發(fā)展,它們也被合起來稱作單獨(dú)的一類儀器——功率和能量計(jì),或PEM。儀器所采用的光學(xué)傳感器的類型,決定了其能測量光功率還是光能量,通常單位分別瓦特(W)或焦耳(J)。具體來講,功率計(jì)能夠測量連續(xù)波(CW)或者重復(fù)脈沖光源,其所使用的傳感器通常是熱電堆或光電二極管。能量計(jì)則通常用于測量脈沖激光,即單脈沖或者重復(fù)脈沖光源,其所使用的傳感器包括熱釋電、熱電堆,或者帶有專門為測量脈沖光源而設(shè)計(jì)的電路的光電二極管。

系統(tǒng)配置

一些制造商將功率或能量計(jì)分為具有控制和示值讀數(shù)功能的測量部分(或儀表盤)和傳感器部分(也稱為探測器或探頭),兩者結(jié)合在一起就組成一套“測量系統(tǒng)”。另一些廠商將這兩者統(tǒng)稱為測量儀。無論哪種分類方式,傳感器都存儲有校準(zhǔn)信息,儀表盤則測量傳感器的輸出電流,并參考校準(zhǔn)表來輸出數(shù)據(jù)。

在某些配置中,儀表盤會作為探測器與用戶之間的接口,通過RS-232或者USB連接方式直接向電腦傳輸測量數(shù)據(jù),在這種情況下,顯示裝置就不再是必需的了。測量數(shù)據(jù)可能包括功率、差值、總和、線性、對數(shù)值和幾個(gè)通道同時(shí)衰減的曲線。大部分PEM儀表盤是數(shù)字式的,但是對于功率只有小幅波動的應(yīng)用而言,模擬式測試儀就足以勝任了。

傳感器的選擇比較復(fù)雜。目前市場上應(yīng)用的三種主要傳感器類型有:光電二極管、熱傳感器和熱釋電傳感器。光電二極管傳感器由光電二極管和ND)濾光片組成,以確保入射到探測器上的功率能夠保證傳感器線性工作,其中光電二極管通常選用硅(Si)、鍺(Ge)或銦砷化鎵等材料,每種光電二極管具有不同的峰值波長和響應(yīng)范圍。每個(gè)光電二極管在不同的波長處具有不同的響應(yīng)度。響應(yīng)度的單位是A/W,代表了傳感器將入射光轉(zhuǎn)換為電流的效率。具有快速響應(yīng)時(shí)間的傳感器對波長敏感,因此較為適用于測量低功率激光。

熱傳感器通過將入射光轉(zhuǎn)換成熱能來測量功率或能量。熱傳感器在186nm~10.6μm的波長范圍內(nèi)具有平坦的光譜響應(yīng),因此其適用于多波長或者非單色光的測量。光電二極管也可以測量紫外(UV)到紅外(IR)波段的波長,但是其在不同波長處具有不同的響應(yīng)度,因此必須將激光波長輸入測量儀以獲得正確的讀數(shù)。在1800 nm或更長的波長處,熱探測器通常是唯一的選擇。熱傳感器可以承受高功率激光,但是如果功率變化范圍較大的話,則需要幾秒鐘才能達(dá)到平衡。由于不像光電二極管那樣靈敏,因此熱傳感器不適合用于低功率測量。

熱釋電傳感器通過將光脈沖能量轉(zhuǎn)換成電壓信號來測量脈沖能量。熱釋電傳感器能響應(yīng)較寬的波長范圍,但是其響應(yīng)曲線不如熱傳感器那么平坦。熱釋電傳感器只能測量脈沖光源,并有最小帶寬要求以使傳感器能夠“看到”脈沖。

目前市場上的許多功率和能量計(jì)都兼容這三類傳感器(見圖1)。如果將通用型儀表盤和功率傳感器一起使用,這套裝置就是功率計(jì);如果將通用型儀表盤和能量傳感器一起使用,這套裝置就是能量計(jì)。


圖 1:Thorlabs公司為自由空間和光纖應(yīng)用設(shè)計(jì)的PM100D功率計(jì),可以兼容超過25種不同的功率和能量傳感器。根據(jù)所選取的傳感器,其可測量的光功率范圍為100pW~250W,可測量的能量范圍為3μJ~15J。當(dāng)與新型超緊湊的S150C系列光纖傳感器一起使用時(shí),PM100D就變成了一款緊湊便攜的光纖功率計(jì),是現(xiàn)場和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的理想選擇。

選擇何種傳感器?

這部分內(nèi)容將介紹哪些類型的傳感器可用于測量功率,哪些可用于測量能量,以及它們的測量范圍。用于測量功率的熱電堆探測器往往面積較大,具有較高的損傷閾值,功率測量范圍從毫瓦到千瓦。基于半導(dǎo)體的光電二極管探測器不但體積較小,而且靈敏度高,功率測量范圍從皮瓦到毫瓦。

這三種類型的探測器都可用于測量能量。熱電堆探測器是毫秒(ms)量級單脈沖測量、或者每個(gè)脈沖能量達(dá)幾焦耳的高能量光束測量的理想選擇。熱釋電探測器比較適合短脈沖(脈寬從fs到ms)和寬能量范圍(從50nJ到焦耳量級)的測量。光電探測器則適合測量低能量(從fJ到mJ量級)的短脈沖(脈寬從fs到ms)。每個(gè)探頭和儀器模塊的關(guān)鍵指標(biāo)的性能范圍有較大差異,用戶在選擇之前,可以要提前與產(chǎn)品專家了解具體情況。

光電二極管探測器可與積分球一起使用,以獲得對光源的均勻和準(zhǔn)確測量。Lasermet公司帶有積分球的光電二極管探頭,通常能夠測量的功率小至1μW;緊湊型探頭能夠測量的功率小至1nW,光束可以直接照射到這種光電二極管上(見圖2)。熱探頭通??梢詼y量的功率低至1mW。


圖2:Lasermet公司的手持式ADM1000數(shù)字式測量儀,通過熱探頭和光電二極管探頭,能在較寬的波長范圍內(nèi)測量功率和能量,并可以選擇是否配備積分球。配備的加速電路可在700ns內(nèi)獲得最終讀數(shù)10%以內(nèi)的響應(yīng)度。ADM1000可用于測量、顯示高達(dá)400kHz的脈沖波形。

對于高功率光源,Lasermet公司的光電二極管探頭通常可以測量的最大功率為1W,如果采用濾光片截止掉90%或者99%的光束(盡管這將引起反射并且會影響測量的準(zhǔn)確度),則可以測量更高的功率。熱探頭可以測量的功率高達(dá)20W,特制的熱探頭可以測量功率高達(dá)100W甚至幾千瓦的激光。

光電二極管擁有較快的響應(yīng)速度。Lasermet公司的IPDH-10S和IPDH-10C光電二極管與ADM1000一起使用時(shí),頻率響應(yīng)可達(dá)到400kHz,這比市場上其他任何探測器的響應(yīng)速度大約快1000倍。這樣的響應(yīng)速度能夠分離和顯示單脈沖波形,并且可以測量出單脈沖的能量。

光電二極管也提供了更高的熱穩(wěn)定性,而熱探測器則容易受到熱干擾和熱漂移的影響,因此更難準(zhǔn)確使用。目前市場上已經(jīng)有一些熱探測器結(jié)合了溫度穩(wěn)定技術(shù),從而大大減少了熱漂移。

關(guān)鍵指標(biāo)

選擇PEM時(shí)首先要考慮的指標(biāo)是傳感器的波長范圍以及對功率和能量的測量范圍。測量儀應(yīng)該能夠在未飽和的狀態(tài)下給出測量值。通常飽和電流在10mA量級(峰值響應(yīng)處的功率約為10mW)。高功率的測量通常采用積分球或光衰減器來降低飽和。系統(tǒng)的另一個(gè)重要指標(biāo)是最低可測量的功率/能量水平處的信噪比。典型的噪聲水平在幾mW量級,高靈敏度模塊可測量的功率低至1μW。

在挑選了合適的探頭來測量激光或?qū)拵Ч庠春?,下一個(gè)要考慮的問題是破壞閾值。用戶需要了解被測量的功率和能量密度,以免探頭被破壞。這需要了解光斑尺寸以及能量分布。高斯光束在光束頂部具有非常高的功率/能量密度。

脈寬是測量脈沖激光時(shí)需要考慮的一個(gè)關(guān)鍵因素。大多數(shù)傳感器具有不同的基于峰值功率的破壞閾值;當(dāng)脈沖能量相同時(shí),短脈沖相比較而言將具有高得多的峰值功率,更容易破壞傳感器。對于高于破壞閾值的應(yīng)用,用戶可采用的衰減手段包括分光器、漫反射和中性濾光片等。

另一個(gè)重要的指標(biāo)是不確定度,這關(guān)系到準(zhǔn)確性和一致性。大多數(shù)公司根據(jù)美國標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)協(xié)會(NIST)制定的標(biāo)準(zhǔn)對其儀器進(jìn)行校準(zhǔn),這些標(biāo)準(zhǔn)提供了基于標(biāo)準(zhǔn)物理常數(shù)的不確定度,例如水中的溫升。準(zhǔn)確度的誤差應(yīng)以百分比的形式對每個(gè)傳感器和顯示器進(jìn)行標(biāo)注(見圖3)。


圖3:OSI公司的Juno是一種多功能緊湊型PEM,其與OSI公司的所有“智能型”熱釋電、熱電堆和光電二極管傳感器兼容。Juno的波長測量范圍從紫外到遠(yuǎn)紅外,能量測量范圍從100fJ到幾百焦,功率測量范圍從10pW到10kW,光源的重復(fù)頻率可高達(dá)10kHz。Juno通過USB接口將筆記本或臺式電腦轉(zhuǎn)換成一個(gè)激光PEM,是現(xiàn)場和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的理想選擇,另外其也可作為內(nèi)置的OEM傳感器。

每種型號的探頭和測量儀器的關(guān)鍵指標(biāo)的工作范圍相差巨大。選擇的關(guān)鍵是要使激光器或光源的輸出參數(shù)與探測器和儀器的指標(biāo)相匹配,即測量儀器的指標(biāo)應(yīng)該覆蓋激光器的輸出參數(shù)。



權(quán)衡與取舍

選擇PEM時(shí)需要進(jìn)行許多權(quán)衡與取舍。例如,如果用戶需要測量光束直徑小的高功率激光,就需要具有高損傷閾值的探頭。但是具有高損傷閾值的PEM的靈敏度并不高,所以無法用同一個(gè)探頭讀取極高和極低的功率。用于更高讀數(shù)的能量探測器也會碰到同樣的情況。此外,某些特定產(chǎn)品可以測量單個(gè)脈沖的高能量,但是它們只能在低重復(fù)頻率下工作,不能在高功率下應(yīng)用。因此,在實(shí)際應(yīng)用中,用戶需要根據(jù)具體情況進(jìn)行一定的權(quán)衡。

雖然PEM已經(jīng)出現(xiàn)了很長一段時(shí)間,但激光和太赫茲源技術(shù)的新進(jìn)展,已經(jīng)為光源測量創(chuàng)造了新的挑戰(zhàn),這些測量需要獨(dú)特的傳感器和儀器。自從高重復(fù)頻率DPSS和光纖激光器出現(xiàn)以來,測量和控制重復(fù)頻率為100kHz甚至更高頻率的脈沖激光器的輸出,曾一度讓人們面臨很大的困難。Gentec-EO公司宣稱其Mach 5是一款能夠很好解決上述需求的數(shù)字焦耳計(jì),希望廣大用戶真正能從中受益(見圖4)。


圖 4:Gentec-EO公司的Mach 5型數(shù)字焦耳計(jì),用于測量高重復(fù)頻率的DPSS、調(diào)Q激光器和重復(fù)頻率高達(dá)130kHz的超快光纖激光器的輸出,測量精度高達(dá)12位。Mach 5在最大重復(fù)頻率下可以存儲多達(dá)400萬個(gè)脈沖(40秒的數(shù)據(jù))。Mach 5的探頭包括熱釋電探測器、硅探測器和InGaAs探測器,可測量的能量范圍從μJ到mJ量級,測量精確度可達(dá)4%。

激光功率計(jì)的探頭原理是怎樣的呢?

    激功率計(jì)、能量計(jì)測試設(shè)備的研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)。其產(chǎn)品種類齊全;測試準(zhǔn)確、使用方便,被廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)和醫(yī)療等各領(lǐng)域。

 

    光電探頭

    光電二極管原理:光電二極管的核心部分是個(gè)PN 結(jié),當(dāng)在PN 結(jié)加上適當(dāng)反向電壓時(shí),由于缺乏載流子, PN 結(jié)內(nèi)無電流通過。當(dāng)光子照射在PN 結(jié)上時(shí),電子或空穴擺脫束縛,在PN 結(jié)內(nèi)形成光生載流子,光生載流子在電場的作用下產(chǎn)生漂移而形成電流,電流的大小和入射光的能量成比例。

    熱電堆探頭

    熱電堆原理:熱電堆功率計(jì)就是利用當(dāng)激光被探頭表面的膜層吸收掉轉(zhuǎn)化成熱量,熱量向熱電偶傳遞并形成溫度梯度場,熱電堆探頭內(nèi)外兩個(gè)節(jié)點(diǎn)由于溫度差產(chǎn)生溫差電動勢,電動勢的大小與入射光轉(zhuǎn)化的熱量成比例。

    熱釋電探頭

    熱釋電原理:當(dāng)某些晶體受熱時(shí),晶體就會產(chǎn)生極化現(xiàn)象,使晶體兩端產(chǎn)生極化電荷,在晶體的兩端鍍上金屬層,構(gòu)成了一個(gè)電容器。則在溫度梯度作用下,極化的電荷集結(jié)在電容器的兩端,產(chǎn)生電壓信號。電壓信號與探測器膜層吸收光轉(zhuǎn)化的熱量形成的溫度梯度成正比。熱釋電探頭不適合探測連續(xù)或長脈寬的激光,因?yàn)殡娙萜鞯拇鎯Φ碾姾扇菀罪柡汀?/p>

    BeamTrack

    BeamTrack 原理:BeamTrack 可以探測功率、能量中心的位置、光斑大小。BeamTrack 將由熱電偶串連起來的熱電堆再引出三個(gè)電極,從而可以分別得到四個(gè)象限的電壓值,根據(jù)四個(gè)象限的電壓信號,可以計(jì)算到能量中心在四個(gè)象限的位置。

    校準(zhǔn)能力

    對于激光量測產(chǎn)品來講,校準(zhǔn)是較為重要。為了保證您激光測量設(shè)備的校準(zhǔn);從膜層吸收曲線上,我們可以了解到只校準(zhǔn)一個(gè)波長是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的??梢孕?zhǔn)客戶要求的波長或在要求波長附近給予高精度的校準(zhǔn)。

    更進(jìn)一步同時(shí)使用NIST 和PTB 可追溯的波長去核對校準(zhǔn)曲線,必要時(shí)予以校正。除了校準(zhǔn)波長這個(gè)因素外,同時(shí)還有許多有待校準(zhǔn)的錯(cuò)誤源。比如探頭表面不同位置處的非線性的變化、脈沖頻率對熱釋電探頭的影響等。我們在校準(zhǔn)的同時(shí),考慮了所有的可能引起校準(zhǔn)精度的因素。

    功率測量原理

    激光探頭是一個(gè)涂有熱電材料的吸收體,熱電材料吸收大部分的光能量并轉(zhuǎn)化成熱量,只有少部分反射。吸收與反射比例與材料的光譜響應(yīng)曲線有關(guān),吸收體的儲熱體和它的厚度決定了熱量傳輸?shù)教筋^的速度和反應(yīng)時(shí)間。探頭溫度變化,能夠產(chǎn)生電流,電流通過薄片環(huán)形電阻轉(zhuǎn)變成電壓信號傳輸出來。

    激光入射,測得的電壓隨時(shí)間快遞上升,然后在緩慢衰減,一段時(shí)間后恢復(fù)到零。這就是測量的熱現(xiàn)象,上升和衰減時(shí)間不受負(fù)載電阻影響。

    最大電壓與初使電壓的差值就是測量電壓,測量精度得到NIST校準(zhǔn)授權(quán)。只要最大能量不超負(fù)荷,測量精度可以得到保證。

 

    功率計(jì)的標(biāo)定

    功率計(jì)標(biāo)定的目的,是校準(zhǔn)自身測量精度,保證測量數(shù)值在功率計(jì)使用報(bào)告的誤差范圍內(nèi),從而保證功率計(jì)正常的使用精度。

    功率計(jì)標(biāo)定采用第三方功率計(jì)來測量,根據(jù)出廠標(biāo)定報(bào)告,采用不同的功率,在不損壞功率計(jì)的前提下,檢驗(yàn)功率計(jì)實(shí)際標(biāo)定的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

標(biāo)簽: 激光功率計(jì)
激光功率計(jì) 激光功率計(jì)的探頭原理是怎樣的呢?_激光功率計(jì)



    射頻功率計(jì)是針對各種復(fù)雜波形的測量而設(shè)計(jì)的高性能便攜式超高頻功率計(jì),其針對數(shù)字通訊信號GSM/CDMA/PHS等的測試;


    有效解決了復(fù)雜波形的功率和幅度測量問題,大幅度提升了儀表可用性和可靠性。


    在操作方法和顯示風(fēng)格上,使用人性化的設(shè)計(jì)理念,盡量符合使用者的操作習(xí)慣。


    射頻功率計(jì)價(jià)格低廉,降低了對昂貴測試設(shè)備的依賴,適合運(yùn)用于各種無線通訊行業(yè)的測量和維護(hù)。


    工作原理


    熱偶式測試法


    將射頻功率轉(zhuǎn)換為熱能,測出其所產(chǎn)生的能量的總和,再將其轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的功率讀數(shù)。


    在熱偶式測量法中,其測試結(jié)果基本上不受信號波形的影響。


    但熱偶式功率計(jì)的成本,物理尺寸,測試響應(yīng)時(shí)間,所需的附件設(shè)備,電纜和交流電源都決定了它不能得到廣泛的應(yīng)用。


    通過式功率測量法


    作為射頻功率測量的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)一直至今,通過式功率測量法在工程應(yīng)用及工程計(jì)量中,通過式功率計(jì)的作用是任何其它功率測試手段所無法替代的。


    通過式射頻功率計(jì)實(shí)際上是一種信號激勵裝置,采用了一個(gè)無源的二極管射頻傳感器。


    在同軸線的一側(cè)裝有一個(gè)定向的,半波二極管檢波電路,并將其接到一個(gè)已校正的表頭以讀出有效值功率。


    檢波電路與傳輸線通過介質(zhì)耦合,并根據(jù)置于傳輸線旁的傳感器的方向取樣出正向和反射功率。







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