圖1光纖渦輪流量計(jì)示意圖
圖2雙向流量測(cè)量原理圖圖3光纖傳感器輸出信號(hào)示意圖
(a)
(b)
圖4兩種傳感器的響應(yīng)特性
圖5流動(dòng)方向檢測(cè)電路示意圖
WERTH為2017年Control展隆重推出研發(fā)的傳感器系列:線色譜傳感器(Chromatic Focus Line Sensor, CFL)。其可以快速采集整個(gè)零件的幾何形狀。通過(guò)選用不同的物鏡,調(diào)節(jié)測(cè)量誤差和測(cè)量范圍來(lái)適應(yīng)各種應(yīng)用需求。通過(guò)大的軸向測(cè)量范圍,不需要針對(duì)零件幾何形狀的可控的補(bǔ)充。以便通過(guò)掃描,快速并大面積獲取零件幾何形狀。針對(duì)表面有明顯高度變化的零件可以采用3D仿樣進(jìn)行掃描。線色譜傳感器可以用于測(cè)量漫反射、鏡面和透明零件以及有較大傾斜角的零件表面。
CFL在零件表面投影一排約200個(gè)白色光點(diǎn)。從零件表面反射回的光線將通過(guò)光譜分析,確定傳感器和零件表面之間的距離。通過(guò)新的線傳感器*次實(shí)現(xiàn)了高速并且高精度地、完整地采集零件3D數(shù)據(jù)。僅僅用3秒鐘就能夠測(cè)量100萬(wàn)個(gè)測(cè)量點(diǎn)。
線色譜傳感器還具有另一個(gè)有趣的功能:反射回的光的波長(zhǎng)強(qiáng)度被分析評(píng)估,并創(chuàng)建零件表面的柵格圖像。其后續(xù)的分析評(píng)估允許通過(guò)圖像處理軟件“在圖像內(nèi)”確定零件坐標(biāo)系或者測(cè)量幾何特征。在此基礎(chǔ)上,由于位置的確定,可以不需要傳感器轉(zhuǎn)換就使用各種其他傳感器進(jìn)行測(cè)量。
在快速的測(cè)量速度下,CFL的測(cè)量度允許測(cè)量精密零件和微特征。該傳感器不僅可以用于鏡面或者透明零件如沖壓印?;蛘哂操|(zhì)合金及金剛石刀具的測(cè)量,也可以用于漫反射的塑料零件的測(cè)量。通過(guò)高點(diǎn)密度來(lái)確定不同表面的形貌。例如微機(jī)械零件手表表盤(pán)。CFL的另一個(gè)典型應(yīng)用是在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,在生產(chǎn)工序中,對(duì)于LED陣列的共面的測(cè)量。作為測(cè)量結(jié)果,是以點(diǎn)云的形式體現(xiàn)零件表面的完整形狀,借此測(cè)量平面度或者粗糙度以及幾何元素。也可以用顏色編碼顯示出理論實(shí)際值偏差。
線色譜傳感器測(cè)量的點(diǎn)云數(shù)據(jù)和CAD模型的顏色編碼偏差顯示
手表表盤(pán)的柵格圖像
光柵是由很多等節(jié)距的透光的縫隙或不透光的刻線均勻、相間排列而成的光電器件。
光柵式傳感器(optical grating transducer)指采用光柵疊柵條紋原理測(cè)量位移的傳感器。光柵是在一塊長(zhǎng)條形的光學(xué)玻璃上密集等間距平行的刻線,刻線密度為 10~100線/毫米。由光柵形成的疊柵條紋具有光學(xué)放大作用和誤差平均效應(yīng),因而能提高測(cè)量精度。傳感器由標(biāo)尺光柵、指示光柵、光路系統(tǒng)和測(cè)量系統(tǒng)四部分組成(見(jiàn)圖)。標(biāo)尺光柵相對(duì)于指示光柵移動(dòng)時(shí),便形成大致按正弦規(guī)律分布的明暗相間的疊柵條紋。這些條紋以光柵的相對(duì)運(yùn)動(dòng)速度移動(dòng),并直接照射到光電元件上,在它們的輸出端得到一串電脈沖,通過(guò)放大、整形、辨向和計(jì)數(shù)系統(tǒng)產(chǎn)生數(shù)字信號(hào)輸出,直接顯示被測(cè)的位移量。傳感器的光路形式有兩種:一種是透射式光柵,它的柵線刻在透明材料(如工業(yè)用白玻璃、光學(xué)玻璃等)上;另一種是反射式光柵,它的柵線刻在具有強(qiáng)反射的金屬(不銹鋼)或玻璃鍍金屬膜(鋁膜)上。這種傳感器的優(yōu)點(diǎn)是量程大和精度高。光柵式傳感器應(yīng)用在程控、數(shù)控機(jī)床和三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)構(gòu)中,可測(cè)量靜、動(dòng)態(tài)的直線位移和整圓角位移。在機(jī)械振動(dòng)測(cè)量、變形測(cè)量等領(lǐng)域也有應(yīng)用。
光柵的分類(lèi)
光柵傳感器的結(jié)構(gòu)
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