熱式質量流量計可分為：恒溫差法流量計和恒功率法流量計。

    恒功率法

    （溫度測量法）是以恒定功率為鉑熱電阻提供熱量，使其加熱到高于氣體的溫度；

    流體流動帶走鉑熱電阻表面一部分熱量，流量越大，溫度降越大，測量隨流體流量變化的溫度，可以反映氣體流量。

    有以下兩種實現(xiàn)方式：

    只對一只鉑電阻加熱，由熱擴散原理測量溫差。

    原理：與恒溫差式流量計的結構類似，在測量管路中同樣加入兩個金屬鉑電阻，一個為用于測量被測流體溫度的測溫電阻，另一個為用于測量被測流體速度的測速電阻。

    在加熱器上加上一個恒定的功率對測速鉑電阻加熱，流體在靜止時測速鉑電阻和測溫鉑電阻表面溫度差ΔT21=TS2-TS1**，隨著介質的流動，兩個鉑電阻表面溫度差減小。

    流體的流量越大，兩只鉑電阻的溫差越小。

    鉑電阻連接在惠斯通電橋中，鉑電阻的溫度不同使鉑電阻的電阻呈現(xiàn)不同阻值，從而使電橋不平衡，通過檢測電橋的電壓差來反應流體流量。

    該恒功率式質量流量計存在的問題：

    若流體的密度為ρ，流速為μ，加熱鉑電阻被流體帶走的熱量為Q，測溫鉑電阻和測速鉑電阻的溫度差為 △T21，則有關系式：

    Q/ΔT21=k1+k2（ρμ）k3

    式中對于組分一定的流體，k1、k2、k3為常數(shù)。

    在橫截當S的管路中，質量流量qm=ρμS。

    測量過程中，測速鉑電阻被電流I加熱，在熱平衡狀態(tài)下，電流的加熱功率與測速鉑電阻被帶走的熱量處于平衡狀態(tài)，即Q=I2RS2。因此質量流量qm與Q/ΔT21成一一對應的關系，可表示為：

    qm=f〔I2RS2/ΔT21〕

    當加熱電流I不變，通過測出流體的溫差ΔT21計算流體的質量流量時，忽略了測速鉑電阻RS2隨溫度的變化，會造成誤差。

    （2）對兩只對稱的鉑電阻進行加熱，由熱平衡原理計算溫度差。

    傳感器的結構是把兩個完全相同的鉑電阻對稱的固定在熱源的兩側，放置在流體中。

    采用一個恒流源（恒壓源）對熱源加熱，流體流動使兩個鉑電阻的溫度不同。

    鉑電阻連接在惠斯通電橋中，鉑電阻的溫度不同使鉑電阻的電阻呈現(xiàn)不同阻值，從而使電橋不平衡，通過檢測電橋的電壓來反應流體流量。

    現(xiàn)從傳熱學角度對該傳感器原理作進一步的分析。假定流體為均勻分布的牛頓型流體，以一維測量為例：

    熱源R置于傳感器基片的中心，在其兩邊對稱地放置兩個完全相同的溫度檢測芯片（薄膜式鉑電阻）S1和S2傳感器與流體之間的熱交換主要通過對流進行，熱源與溫度檢測芯片之間的熱交換可通過傳導和對流進行。

    當流體流速為零，即當流體處于靜止狀態(tài)時，表面附近的流線場及主要由此產(chǎn)生的溫度場相對于熱源呈對稱分布。

    由于結構上的對稱性，通過基片熱傳導進行的熱交換相對于熱源始終是對稱的。

    此時感溫芯片的鉑電阻溫度滿足TS1=TS2，即溫差：ΔT21=TS2-TS1=0。

    當流體流動時，流體和鉑電阻之間主要為對流換熱，由于局部對流換熱系數(shù)的不同，基片表面附近的流線場及相應的溫度場相對于中心熱源的分布發(fā)生變化，導致傾向性的不對稱分布。

    根據(jù)熱邊界層理論，可知，此時上游溫度檢測芯片表面冷卻速率高于下游芯片表面；

    即鉑電阻S1的換熱系數(shù)大于S2是換熱系數(shù)，所以TS2＞TS1，溫差溫度差：ΔT21=TS2-TS1＞0。

    且ΔT21的值隨流體流速的增大而增大。如果改變流體流向，ΔT21亦相應改變符號。

    利用熱平衡方程可以計算出因對流引起的芯片表面的溫度再分布，獲得溫度差與流速的關系式。