精密測(cè)量技術(shù)是一門集光學(xué)、電子、傳感器、圖像、制造及計(jì)算機(jī)技術(shù)為一體的綜合性 交叉學(xué)科，涉及廣泛的學(xué)科領(lǐng)域，它的發(fā)展需要眾多相關(guān)學(xué)科的支持。在現(xiàn)代工業(yè)制造技術(shù)和科學(xué)研究中，測(cè)量?jī)x器具有精密化、集成化、智能化的發(fā)展趨勢(shì)。三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是適應(yīng)上述發(fā)展趨勢(shì)的典型代表，它幾乎可以對(duì)生產(chǎn)中的所有三維復(fù)雜零件尺寸、形狀和相互位置進(jìn)行高準(zhǔn)確度測(cè)量。發(fā)展高速坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)的要求。

　　3月上旬，安徽省市場(chǎng)監(jiān)管局韓永生局長(zhǎng)一行到浙江省計(jì)量院調(diào)研。調(diào)研組首先在大長(zhǎng)度精密測(cè)量實(shí)驗(yàn)室參觀了50米大長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)裝置，該裝置由精密導(dǎo)軌平臺(tái)、標(biāo)準(zhǔn)激光干涉儀和環(huán)境溫度補(bǔ)償單元組成，能開展針對(duì)大型裝置的檢測(cè)設(shè)備的量值溯源工作。隨后在大力值精密測(cè)量實(shí)驗(yàn)室參觀了1MN靜重式力標(biāo)準(zhǔn)機(jī)。該設(shè)備和國(guó)家計(jì)量院精度水平相同，是浙江省最高計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，能為浙江省產(chǎn)業(yè)服務(wù)和大型基礎(chǔ)建設(shè)提供計(jì)量測(cè)試。

　　導(dǎo)軌通常采用機(jī)械加工方式或冷拔加工方式制成，其抗托強(qiáng)度一般應(yīng)在370～520MPa。按其橫向截面形狀分主要有：戀夜T形導(dǎo)軌、L(或三角項(xiàng)端酷)形導(dǎo)軌、U形導(dǎo)軌、O形導(dǎo)軌、空心導(dǎo)軌等。導(dǎo)軌是用金屬或其它材料制成的槽或脊，可承受、固定、引導(dǎo)移動(dòng)裝置或設(shè)備并減少其摩擦的一種裝置。導(dǎo)軌表面上的縱向槽或脊，用于導(dǎo)引、固定機(jī)器部件、專用設(shè)備、儀器等。導(dǎo)軌又稱滑軌、線性導(dǎo)軌、線性滑軌，用于直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)場(chǎng)合，擁有比直線軸承更高的額定負(fù)載， 同時(shí)可以承擔(dān)一定的扭矩，可在高負(fù)載的情況下實(shí)現(xiàn)高精度的直線運(yùn)動(dòng)。機(jī)電一體化系統(tǒng)中的導(dǎo)向裝置一般是指導(dǎo)軌，導(dǎo)軌由運(yùn)動(dòng)件和承導(dǎo)件組成。各種機(jī)械運(yùn)行時(shí)，由導(dǎo)軌副保證執(zhí)行件的正確運(yùn)動(dòng)軌跡。并且導(dǎo)軌副也影響著執(zhí)行件的運(yùn)動(dòng)特性。

　　激光干涉儀，以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量。激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測(cè)量長(zhǎng)度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測(cè)量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測(cè)量工作，并可作為精密工具機(jī)或測(cè)量?jī)x器的校正工作。

　　激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。

　　單頻激光干涉儀：從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為 激光波長(zhǎng)(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果。

　　雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng), 激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為僅含有f1的光束,另一路成為僅含有f2的光束。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號(hào)表示移動(dòng)方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來僅含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1-(f2±Δf)的測(cè)量光束。測(cè)量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號(hào)。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后，由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算(乘 1/2激光波長(zhǎng))后即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測(cè)量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強(qiáng)。它常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī)、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī)、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進(jìn)行高精度直線度測(cè)量、平面度測(cè)量和小角度測(cè)量。

　　靜重式扭矩標(biāo)準(zhǔn)機(jī)屬于扭矩計(jì)量測(cè)試領(lǐng)域，扭矩標(biāo)準(zhǔn)機(jī)以標(biāo)準(zhǔn)力值，直接或經(jīng)過一定的杠桿機(jī)構(gòu)放大后，通過力臂杠桿的作用產(chǎn)生標(biāo)準(zhǔn)力矩。對(duì)各類扭矩測(cè)量?jī)x，扭矩傳感器進(jìn)行量傳(或稱為校準(zhǔn)、檢定)。包括支承部件、標(biāo)準(zhǔn)力加載機(jī)構(gòu)、杠桿機(jī)構(gòu)、扭矩傳感器安裝部分及其控制系統(tǒng);所述標(biāo)準(zhǔn)力加載機(jī)構(gòu)包括加載框架、托架機(jī)構(gòu)和圓盤加載機(jī)構(gòu)，步進(jìn)電機(jī)A的輸出端穿過上安裝盤，通過夾緊傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和夾緊臂實(shí)現(xiàn)對(duì)砝碼的夾緊或松開，所述砝碼上端穿過下安裝盤上的砝碼槽;所述控制系統(tǒng)固定在所述安裝板的下方，通過控制系統(tǒng)控制標(biāo)準(zhǔn)力加載機(jī)構(gòu)和托架機(jī)構(gòu)的步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)砝碼的加載和卸載。本實(shí)用新型的砝碼可以根據(jù)扭矩傳感器檢定的需要任意選取和組合使用，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單，可靠性高。

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