真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。
常見真空泵的種類及原理性能
1、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵
以油封式真空泵為例加以介紹。
構(gòu)造：偏心軸轉(zhuǎn)子,固定翼,油。旋轉(zhuǎn)動力是電機(jī)。
原理：轉(zhuǎn)子緊貼泵壁內(nèi)側(cè)旋轉(zhuǎn)。固定翼隨之下移,轉(zhuǎn)子到達(dá)油面后,空氣被壓縮,壓縮后的空氣壓力高于外界大氣壓之后從排氣口排出。
特征：排氣能力由壓縮比決定,可達(dá)0.1Pa程度。操作簡單?？梢詮拇髿鈮籂顟B(tài)下啟動。油要蒸發(fā)。為了避免油或其它液體進(jìn)入真空腔內(nèi),不用油或其它液體的干式真空泵正在成為主要的旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵。
2、分子泵
構(gòu)造：電機(jī)驅(qū)動的高速旋轉(zhuǎn)葉片,泵壁上固定的固定葉片。
原理：每分鐘旋轉(zhuǎn)數(shù)萬次的高速旋轉(zhuǎn)葉片撞擊氣體分子,被撞擊的氣體分子碰撞到固定葉片后又被彈到下一個旋轉(zhuǎn)葉片上,最終被送到排氣口。旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片的方向相反,使分子難于逆行。這種排氣方式,排氣速度不因氣體種類而變。
特征：不用油,工作環(huán)境清潔,可到達(dá)10-10Pa的真空度。排氣速度不受氣體種類影響。構(gòu)造復(fù)雜,價格昂貴,高速旋轉(zhuǎn),要注意安裝要求。有振動。需要和其它初段排氣泵組合。
3、離子泵
構(gòu)造：強(qiáng)磁鐵,蜂窩狀陽極,鈦(Ti)陰極。
原理：通過濺射現(xiàn)象,使Ti離子化,Ti離子化學(xué)反應(yīng)活性高。和氣體分子反應(yīng)之后生成化合物。一部分氣體分子也離子化之后向陰極加速,使陰極的Ti被濺射后,一部分離子進(jìn)入陰極內(nèi)部。
特征：能達(dá)到超高真空(10-10Pa)。需要和其它初段排氣泵組合。有一定壽命。
4、Ti升華泵
構(gòu)造：加熱電阻絲、Ti材料(線或球)。
原理：通過加熱電阻絲,使Ti升華。因為Ti化學(xué)反應(yīng)活性高、立刻和周圍的氣體分子反應(yīng)而生成穩(wěn)定的化合物。反應(yīng)生成的化合物吸附在真空腔內(nèi)壁上、從而達(dá)到降低氣壓的效果。如果升華后的Ti吸附在較大面積的內(nèi)壁上、則產(chǎn)生巨大的排氣速度。比如1平方米的面積上吸附Ti原子的話、對氮氣而言、可達(dá)到24000升/s的排氣速度。在壓力較高時(>10-3Pa)、排氣速度大大降低。因此需要和其他排氣泵組合使用。
特征：排氣速度大。沒有運動部分,沒有振動。需要和其它初段排氣泵組合。有一定壽命。
5、低溫泵
構(gòu)造：冷凍機(jī)、液態(tài)He。
原理：利用氣體在超低溫表面凝結(jié)而達(dá)到排氣效果。
特征：能達(dá)到超高真空(10-11Pa)。排氣速度快。安裝方向不受限制。
真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
真空泵使用要點
1.真空泵用于抽潔凈氣體，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體或者蒸汽、化學(xué)品、溶劑及粉末等。如易燃?xì)怏w、含國家特殊化學(xué)品規(guī)定成分的特殊或高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體、或半導(dǎo)體工藝中高濃度氣體、有機(jī)溶劑、結(jié)晶氣體等。這些氣體容易使軸承失效。
2.進(jìn)氣溫度必須低于50℃，否則在被抽真空室與泵進(jìn)氣口之間必須加冷阱，降溫至低于50℃。
3.抽含有水蒸汽的氣體時，要打開氣鎮(zhèn)閥抽氣，被抽氣體水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超過此極限，將會縮短氣鎮(zhèn)閥壽命。
4.真空泵不能在腐蝕性、易燃、易爆氣體或蒸汽環(huán)境中工作，否則會有爆炸、火災(zāi)等危險。
5.不要由一兩個人移動此泵。此由專業(yè)人員搬運、安裝、配置、配線、操作、維護(hù)和檢查，否則會有觸電、受傷或者泵甚至被抽真空室損壞的危險。
6.不要繼續(xù)使用已經(jīng)損壞的泵，否則會有受傷、觸電甚至被抽系統(tǒng)損壞等危險。
7.檢查確定此泵安全接地。
8.此泵工作過程中或剛停機(jī)時不要接觸泵電機(jī)或金屬部件（因為工作時很熱，最高可能達(dá)到70℃）。如確實需要接觸，采取必要防護(hù)措施防止受傷。
9.必須安裝電機(jī)保護(hù)開關(guān)。
10.不要刮碰進(jìn)氣口與排氣口法蘭，以免損壞法蘭口，導(dǎo)致真空度上不去。
11.在進(jìn)氣口處裝截止閥。真空泵停止后進(jìn)氣口處真空度降低，是因為排氣口處的大氣返至進(jìn)氣口處，不是真空泵的原因。如要保證真空室內(nèi)的真空度，要在真空室與泵之間安裝截止閥。
12.排氣口處要接排氣管，以防灰塵進(jìn)入泵內(nèi)。
無油隔膜真空泵是一種無需任何油作潤滑既能運轉(zhuǎn)工作的機(jī)械真空泵。它具有結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點。
無油隔膜真空泵是高精度色譜儀器、旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀等配套使用的理想產(chǎn)品，主要用于藥物分析、精細(xì)化工、生物制藥、食品檢驗、刑偵分析等領(lǐng)域，耐用性好，是抽真空，壓縮，兩用真空泵，是一種應(yīng)用范圍非常廣泛獲得真空的基本設(shè)備。
無油隔膜真空泵的工作原理：
和一般容積泵相同，無油隔膜真空泵由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機(jī)等主要零件組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心地安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分離開來，周而復(fù)始運轉(zhuǎn)，進(jìn)行變?nèi)?，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達(dá)到抽氣目的。
無油隔膜真空泵為蒸發(fā)、蒸餾、結(jié)晶、干燥、升華、過濾減壓、脫氣提供真空條件，以及溶媒回收、為各種劇毒，易燃易爆、強(qiáng)酸、強(qiáng)堿抽取，使用范圍廣泛。
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