高精度激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

    該儀器的基本操作：

    1、開機：接通電源打開電源開關(guān)，1分鐘后開始檢測；

    2、光路調(diào)整：旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點，顯示器上顯示完整的圓形圖像；

    3、透鏡面形檢測：調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸，放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合，觀測顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋，條紋越少精度越高；

    4、透鏡曲率半徑檢測：開啟標尺電源開關(guān)（清零），調(diào)整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條），凸透鏡向上調(diào)節(jié)高度（凹透鏡向下調(diào)節(jié)高度）到第2個星點出現(xiàn)的時候調(diào)節(jié)標準鏡頭調(diào)節(jié)旋鈕，使圖像出現(xiàn)貓眼像，標尺移動的數(shù)值就為被測透鏡的曲率半徑。

    應(yīng)用

    （1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。

    （2）位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數(shù)控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可最大限度地選用被測軸上的補償點數(shù)，使機床達到較佳精度，另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。

    （3）數(shù)控轉(zhuǎn)臺分度精度的檢測及其自動補償 現(xiàn)在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺基準還能進行回轉(zhuǎn)軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線，知曉其精度的每一細節(jié)，并給出按相關(guān)標準處理的統(tǒng)計結(jié)果。

    （4）雙軸定位精度的檢測及其自動補償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅(qū)動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。

    （5）數(shù)控機床動態(tài)性能檢測 利用RENISHAW動態(tài)特性測量與評估軟件，可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析（FFT），滾珠絲杠的動態(tài)特性分析，伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導軌的動態(tài)特性（低速爬行）分析等。

    激光干涉儀為機床檢定提供了一種高精度儀器，它精度高，達到±1.1PPM（在0～40℃下），測量范圍大（線性測長40m，任選80m），測量速度快（60m/min），分辨率高（0.001μm），便攜性好。由于激光干涉儀具有自動線性誤差補償功能，可方便恢復機床精度，更受到用戶歡迎！