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閃測影像測量儀的校準(zhǔn)規(guī)程

時間:2022-11-17    來源:    作者:儀多多網(wǎng)     

閃測影像測量儀又稱一鍵式影像測量儀,簡稱閃測儀,是由上下光源、高像素CCD/CMOS相機(jī)、大視角大景深遠(yuǎn)心鏡頭、不可移動工作臺或可移動工作臺組成,包括廣視野與高精度測量模式。閃測影像測量儀可以自動識別出測量范圍內(nèi)的多個相同工件或同一工件在測量范圍內(nèi)的多個相同特征,并能一次性地自動完成所有工件或特征測量。

一、校準(zhǔn)條件

1、環(huán)境溫度:20±3℃,且溫度變化不大于1℃/h。閃測影像測量儀在室內(nèi)溫度平衡時間不少于12h,測量標(biāo)準(zhǔn)器在室內(nèi)平衡溫度時間不少于6h。

2、相對濕度:不大于75%。

3、儀器測量室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、噪音、振動、腐蝕性氣體和磁場干擾。

二、校準(zhǔn)項目和校準(zhǔn)方法

校準(zhǔn)前,首先對閃測影像測量儀的外觀及各部分相互作用進(jìn)行檢查,確定工作臺表面沒有碰傷、顯著劃痕等影響計量特性的因素后再進(jìn)行校準(zhǔn)。

(一)二維探測誤差

1、二維探測誤差PM:將圓形靶標(biāo)水平放置于工作臺面上,在視場內(nèi)調(diào)整影像清晰。在工作臺移動的情況下,對整個圓大致均勻的采取25個點,采用單點測量的方法,不得一次采取測量窗口的所有點。

用所有25個測量點的數(shù)據(jù)擬合最小二乘圓,得到圓心,25個測量點到圓心的距離即為半徑RiRmax-Rmin即為探測誤差PM。

2、二維探測誤差PS:選擇適當(dāng)尺寸的圓形靶標(biāo)標(biāo)靶影像直徑約為視場范圍的10%~30%,將圓形靶標(biāo)水平放置于工作臺面上,在視場內(nèi)調(diào)整影像清晰。在工作臺不作任何移動的情況下,利用視場內(nèi)不同點對圓形靶標(biāo)的圓周進(jìn)行測量。

用所有25個測量點的數(shù)據(jù)擬合最小二乘圓,得到圓心,25個測量點到圓心的距離即為半徑RiRmax-Rmin即為探測誤差PS。

注:

① 選擇廣視野測量模式下進(jìn)行校準(zhǔn)。

② 當(dāng)閃測影像測量儀的工作臺可移動時,校準(zhǔn)二維探測誤差PMPS;當(dāng)閃測影像測量儀的工作臺不可移動時,只校準(zhǔn)二維探測誤差PS

(二)尺寸測量誤差

1、測量位置

當(dāng)使用線紋尺作為測量標(biāo)準(zhǔn)時,在工作臺面上應(yīng)選擇4個位置進(jìn)行測量。其中兩個位置應(yīng)是沿測量范圍內(nèi)兩條對角線X+Y與X-Y方向,另兩個位置應(yīng)是平行于X軸和Y軸方向。

注:可根據(jù)用戶需要選擇任意位置作為測量位置。

2、測量間隔

每個位置測量不少于3個間隔,最小測量間隔不大于該測量位置測量行程的10%,X軸與Y軸方向最大測量間隔不小于該測量位置測量行程的90%,對角線X+Y與X-Y方向最大測量間隔不小于該測量位置測量行程的66%。

3、測量方法

當(dāng)使用線紋尺做測量標(biāo)準(zhǔn)時,按1的要求選擇測量位置。在各測量位置上依次對規(guī)定的線紋間隔進(jìn)行測量。三次測得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器實際值的差值為尺寸測量誤差。

當(dāng)使用二維掩膜板做測量標(biāo)準(zhǔn)時,將二維掩膜板放置在工作臺面上,依次按規(guī)定的間隔對二維圖形標(biāo)記的坐標(biāo)進(jìn)行測量,得到各標(biāo)記點的二維坐標(biāo)。三次測得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器上對應(yīng)點實際值的差值為尺寸測量誤差。

注:

① 如閃測影像測量儀具有廣視野與高精度兩種測量模式,則需校準(zhǔn)兩種測量模式的尺寸測量誤差。

② 當(dāng)閃測影像測量儀工作臺可移動時,按3的方法測量拼接模式下尺寸測量誤差。

三、復(fù)校時間間隔

由于復(fù)校時間間隔的長短是由儀器的使用情況、使用者、儀器本身質(zhì)量等因素所決定的,因此送校單位可根據(jù)實際使用情況自主決定復(fù)校時間間隔。




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